News ASML macht gute Fortschritte bei EUV-Lithografie

Volker

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In einer IBM-Forschungseinrichtung hat eine Lithografiemaschine von ASML mit dem zukünftigen Standard der „extremen“ ultravioletten Lichtquelle (EUV) in 24 Stunden 637 Wafer erfolgreich belichtet. Damit wurde das Ziel von 500 Wafern in 24 Stunden, welches für Ende des Jahres ausgegeben wurde, bereits übertroffen.

Zur News: ASML macht gute Fortschritte bei EUV-Lithografie
 
gibt es nur diese Folie der Präsentation oder ist der Rest auch irgendwo zufinden?
 
ASML rechnet mit einem Bedarf an 167 EUV Tools, die rund 10 Mrd. US-$ Umsatz generieren müßen damit man die Kosten wieder reinholt.

@LLqJay

Direkt auf der ASML Seite
 
Smagjus schrieb:
Bei welcher Strukturbreite werden die eigentlich getestet?


und wie klein(Strukturbreite in nm) kann man damit belichten? aus dem PDF werd ich nicht schlau - nur 27/22nm?
 
Zuletzt bearbeitet:
Ich denke die Strukturbreite ist ein Sache der Optik und der Masken. Ich denke hier geht es darum die Intensität der der Lichtquelle soweit zu steigern, dass der Lithographpieprozess effizient sprich: schnell funktioniert.

Ich denke EUV sollte bis in den kleineren einstelligen nm Bereich gehen.
 
Steht doch in der Folie, damit sind Strukturen unter 7nm möglich...
 
Wenn solch eine Schlüßelfirma mal vernichtet wird... druch einen Krieg beispielsweise... die Menscheit wäre technologisch um ein Jahrzehnt zurückversetzt.. oder mehr.
 
Zitat von SoilentGruen
Wenn solch eine Schlüßelfirma mal vernichtet wird... druch einen Krieg beispielsweise... die Menscheit wäre technologisch um ein Jahrzehnt zurückversetzt.. oder mehr.

ASML hat laut Wikipedia seinen Sitz in der Niederlande. Schwer vorherzusagen, ob da demnächst ein Krieg ausbrechen wird, ich denke in absehbarer Zeit nicht :D

Das Verhältnis von Umsatz zu Gewinn ist auch beeindruckend. Ein viertel des Umsatzes schlägt sich direkt zu Gewinn nieder. Wirtschaften tut das Unternehmen anscheinend solide. Könnte wahrscheinlich auch an der Monopol Stellung auf diesem Gebiet liegen.
 
SoilentGruen schrieb:
Wenn solch eine Schlüßelfirma mal vernichtet wird... druch einen Krieg beispielsweise... die Menscheit wäre technologisch um ein Jahrzehnt zurückversetzt.. oder mehr.

Die Technologie ist zwar nicht ganz so teuer, wie die Chip Herstellung, aber wir haben ja gesehen, was das Hochwasser in Thailand mit dem Festplattenmarkt angerichtet hat.

<7nm... so langsam werden da die Quanteneffekte immer bedeutender... Bin mal gespannt, wie weit die Miniaturisierung noch vorangetrieben wird, bis endlich mal auf ein anderes Materialsystem umgestiegen wird -> III-V bzw. III-Nitrid Verbindungen wären so langsam mal an der Reihe...
 
JiJiB! schrieb:
2 bis 3 stellige Millionenbeträge kostet so ne Büchse.

kommt so ca. hin, alleine das linsensystem bei so einer Maschine liegt ueber 8mio.
 
In einer EUV Maschine findest du keine Linsen. Für die Wellenlänge gibt es einfach keine Materialien. Das geht nun nur noch mit Spiegeln. Außerdem muss nun mit Vakuum gearbeitet werden.

Ein Gerät von ASML mit EUV soll bei 80 Mio. EUR liegen.
 
Zuletzt bearbeitet:
Sry, ach linsen ... Optiken... Spiegel... Passiert, wollte nur ne grobe preisvorstellung geben.

aber ist nun ja durch dein Post gegeben.
 
Zuletzt bearbeitet:
Krautmaster schrieb:
Preise pro Gerät? ;)

Schon Wahnsinn. Da würde ich gern mal dran schrauben.

Ist doch kein Thema du hast danach nur halt kein wirkliches Privatleben mehr ;)
Schreib einfach eine Bewerbung an Trumpf soweit ich weiß suchen die noch Serviceleute für den Internationalen Service der EUV Anlage ;)
Gehalt dürfte aber auch nicht schlecht sein. Aber erfahrung im Laserberiche wäre gut ;)

Matzegr schrieb:
ASML rechnet mit einem Bedarf an 167 EUV Tools, die rund 10 Mrd. US-$ Umsatz generieren müßen damit man die Kosten wieder reinholt.

@LLqJay

Direkt auf der ASML Seite

Ich hoffe mal das klappt mit den 167 Anlage dann gibts nächste Jahr eine schönen Fetten Bonus :) In so einer Anlage stecken nämlich glaube 7 Resonatoren (Strahlerzeuger für den Laser) von uns (Trumpf). Habe selbst einen der Protoypenanlagen bei uns im Versuch gesehen aber selbst da war alles abgespert und man konnte nur ab und zu einen Blick erspähen. Wobei gegen Ende des Projektes sie einfach offen rum stand.
Wobei ich nicht von der Kompletten Anlage sondern nur von dem Laser spreche. Aber selbst das ist schon ein Monster.
Ich bin auch kein Experte in dieses Bereich. Ich arbeite zwar auch mit Lasern aber für die Blechfertigung da ist bei 8kW momentan schluss.
Soweit ich weiß werden bei der EUV Gesichte mehrere Laser gebundelt und es wird mit extrem viel Leistung glaube um die 50kW (wenn nicht sogar mehr) auf mehrer 1000 Zinntropfen die Sekunde geschossen. Und dabei entsteht dieses Spezielle Licht.
 
80 mio. sind ja schon verdammt teuer. Gibt es eigentlich kommerziell vertriebene (Einzel-)Maschinen (egal welche Branche), die noch teurer sind? Mir fällt spontan nichts ein...
 
Gibt es eigentlich kommerziell vertriebene (Einzel-)Maschinen (egal welche Branche), die noch teurer sind? Mir fällt spontan nichts ein...

Die wirklich dicken Kraftwerksturbinen+Generator-Komplexe auf Einzelanfertigung vielleicht noch?

Je nachdem, ob du das als Maschine durchgehen lässt. Wird ja auch als Werkzeug zur Produktion von Elektrischem Strom verwendet.
Auch die Kombination für Gaskraftwerke aus Gasturbine, Dampfturbine und Generator schlägt ordentlich zu Buche. Aber kein Vergleich zu den Oschis in Großkraftwerken.


Bin mal gespannt, wer die Maschinen als erstes kommerziell einsetzen wird. Keinesfalls Intel. Wenn die Stückzahlen nicht stimmen, wird im Zweifel verschoben. Könnte mir eher vorstellen dass auf solchen Maschinen dann zunächst abnorm margenträchtige Chips vom Band laufen. Sowas wie Power10 oder Stratix VII. Jedenfalls kein Tegra 9 :lol:
 
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