News ASML macht gute Fortschritte bei EUV-Lithografie

Mr.Seymour Buds schrieb:
Gibt es eigentlich kommerziell vertriebene (Einzel-)Maschinen (egal welche Branche), die noch teurer sind? Mir fällt spontan nichts ein...

Eine Ariane 5 kostet ohne Start (also nur die Maschine) 136mio. Große Schaufelradbagger werden wahrscheinlich noch darüber liegen. Zyklotrone die für Krankenhäuser Radiopharmaka produzieren dürften auch nicht billig sein. Es gibt mit Sicherheit noch mehr Beispiele die man so einfach nicht auf dem Schirm hat, aber ich denke auch, dass die EUV Anlagen weit oben liegen werden.
 
80 Mio. sind schon viel Geld, aber die Entwicklung der Geräte ist einfach teuer. Alleine 3000 Menschen haben etwas mit der Optik zu tun, davon 1000 in der Entwicklung.

Am Ende werden 2500 Wafer pro Tag belichtet. Der Preis pro Chip ist ziemlich hoch, so dass der Preis für die Maschine ok ist.
 
Alleine was so eine Maschine an Aufbau dauert. Teile des Maschinenbetts sind aus Nullausdehnender Glaskeramik, die jeh nach geforderter Größe mal paar Wochen geregelt abkühlen muss.

Und ähnliches gilt für die Optiken.
 
Zuletzt bearbeitet:
[F]L4SH Ne, daran dachte ich eigentlich nicht. Das ist schon mehr Anlagentechnik und dort kann es sogar noch viel teurer werden. Ich dachte wirklich an recht kompakte Maschinen, wie eben die EUV. Aber wie gesagt, kann gut sein, dass es die teuersten Maschinen sind....
 
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