News ASML und TSMC belichten 1.022 Wafer in 24 Stunden mit EUV

The required utility resources are significantly larger for EUV compared to 193 nm immersion, even with two exposures using the latter. Hynix reported at the 2009 EUV Symposium that the wall plug efficiency was ~0.02% for EUV, i.e., to get 200 W at intermediate focus for 100 WPH, one would require 1MW of input power, compared to 165 kW for an ArF immersion scanner, and that even at the same throughput, the footprint of the EUV scanner was ~3x the footprint of an ArF immersion scanner, resulting in productivity loss.[178] Additionally, to confine ion debris, a superconducting magnet may be required.[179]

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http://en.wikipedia.org/wiki/Extreme_ultraviolet_lithography

kein schlechter Verbrauch. Das muss auch iwo hin diese Energie...

D.h. bei 90W Lichtleistung sind wir bei knapp 450kW Eingangsleistung?

Ich nehme mal an, seit 2009 hat man da noch ein wenig Fortschritte gemacht. Gerade im Bereich Violett und darüber hinaus gab es in den letzten Jahren enorme Fortschritte. Die Lichtquellen werden ja stärker und wenn meinetwegen eine 100W Lichtquelle (da will ASML sicher hin - bisher haben sie ja ordentlich die Leistung der Lichtquelle gesteigert) dran hängt, wird das kaum 500kW schlucken. Wo soll die Abwärme hin? Das kühlt man nicht einfach so das sind ja schon Ausmaße wie in kleinen Blockheizkraftwerken. Kühltürme für Fabs? Ich glaube nicht Tim

Wenn eine Fab 10 Straßen bekommt (also eine Gigafab), wären 5MW (!) allein für die Belichtungsmaschinen nötig. Ganz zu schweigen von den Reinraumanlagen, Klimatisierung, den restlichen Maschinen und der Beleuchtung. Wenn so eine Anlage dann 7MW schluckt, wäre eine eigene Hochspannungsleitung nötig, Kühltürme oder Anschluss an einen Fluss und die Produktion wäre an so gut wie keinem Ort der Erde mehr machbar. Schon gar nicht da, wo Chipfabriken im Moment so stehen - Taiwan, Singapur, Japan, Südkorea oder Mitteleuropa.

Nur mal um Hausnummern anzuführen: Dresden, jetzt Globalfoundries, wurde allein für die Erweiterung Fab36 ein eigenes Kraftwerk errichtet. Stromleistung 11 MW, Wärmeleistung über 20 MW. Kaftwerk 1 wird ähnlich dimensioniert sein. Und bitte von der Vorstellung abrücken, Asien sei da technisch rückständig.

Die Lichtquellen werden ja stärker und wenn meinetwegen eine 100W Lichtquelle (...) dran hängt, wird das kaum 500kW schlucken. Wo soll die Abwärme hin? Das kühlt man nicht einfach so das sind ja schon Ausmaße wie in kleinen Blockheizkraftwerken. Kühltürme für Fabs? Ich glaube nicht Tim

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500kW Wärme abführen ist kein Hexenwerk, jeder größere LKW gibt dies über seinen Kühler ab (zumindest beladen und bergauf, auch kurzzeitig beim Beschleunigen).
Klimaanlagen von Einkaufszentren geben noch viel mehr Wärme ab und das ohne Kühltürme.
Selbst ein kleiner metallverarbeitender Handwerksbetrieb mit paar CNC-Fräsen kann über 100kW aus dem Netz ziehen.

Wenn so eine Anlage dann 7MW schluckt, wäre eine eigene Hochspannungsleitung nötig

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Das geht auch mit einem Erdkabel aus der 20kV-Mittelspannungsebene.