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- Ausbeute (Halbleitertechnik)
- Chemisch-mechanisches Polieren
- Chemische Gasphasenabscheidung: Unter dem Begriff chemische Gasphasenabscheidung (englisch chemical vapor deposition, CVD) versteht man eine Gruppe von Beschichtungsverfahren, welche unter anderem bei der Herstellung von mikroelektronischen ...
- Dotierung
- Dünnschichttechnologie
- EN ISO 14644
- EUV-Lithografie
- Elektronenstrahlverdampfer
- Fotolack
- Fotolithografie: Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik ...
- Fotomaske
- Frontend und Backend
- Gestrecktes Silicium
- HVPE
- Halbleiterschaltungstechnik
- Halbleitertechnologie: Die Halbleitertechnologie definiert sich historisch und aufgrund der Verwendung der Produkte als Schlüsselkomponenten in elektrotechnischen Erzeugnissen als Teilgebiet der Elektrotechnik. Trifft man die ...
- High-k-Dielektrikum
- Horde (Halbleitertechnik)
- Ionendünnung
- Ionenimplantation: Die Ionenimplantation ist ein Verfahren zur Einbringung von Fremdatomen in ein Grundmaterial zur Änderung von Materialeigenschaften. Die Ionenimplantation ist der wichtigste Prozess zur Dotierung von ...
- Ionenimplanter
- Low-k-Dielektrikum
- Luftporenbildner
- Maskierungsschicht
- Moisture Sensitive Level
- Novolak
- Partikelmessung
- Physikalische Gasphasenabscheidung
- Planartechnik
- RCA-Reinigung
- Rapid Thermal Annealing
- Rapid Thermal Processing
- Reinraum: In einem Reinraum hält man die Partikel-Kontamination unter bestimmten Werten. Rein- und Reinsträume werden für spezielle Fertigungsverfahren, vor allem in der Halbleiterfertigung benötigt, um die ...
- Rotationsbeschichtung
- Shrink
- Silicon on Insulator
- Silicon on Sapphire
- Sputtern: Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch ...
- Stepper
- Strukturgröße
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