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Ein Mikrosystem ist ein miniaturisiertes Gerät, das für eine bestimmte Aufgabe entwickelt wurde und aus mehreren unterschiedlichen Teilen besteht. Die Bezeichnung Mikrosystem leitet sich daraus ab, dass die Komponenten kleinste Abmessungen (im Mikrometerbereich) haben und als System zusammen wirken.
Im allgemeinen besteht es aus einem oder mehreren Sensoren, Aktoren, Optik und einer Steuerungselektronik. Die Mikrosystemtechnik ist die Lehre von der Entwicklung der Mikrosysteme und von den Technologien zu deren Realisierung.