Fraunhofer Nanocenter in Dresden eröffnet

Der Sprung von der Mikro- zur Nanoelektronik ist eine große Herausforderung für die Halbleiterindustrie. Am Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT) in Dresden entwickeln Wissenschaft und Wirtschaft gemeinsam neue Prozesstechnologien für die Nanoelektronik.

Am 31. Mai 2005 fand die feierliche Eröffnung mit Gästen von Bund, dem Freistaat Sachsen, der Wissenschaft und Wirtschaft statt. Im August des vergangenen Jahres hatten die Partner - Fraunhofer-Gesellschaft, Infineon und AMD und die Förderer Bundesforschungsministerium sowie der Freistaat Sachsen - die Absichtserklärung zur Gründung des Fraunhofer CNT unterschrieben. Nach nur neun Monaten kann das CNT nun feierlich eröffnet werden.

Mit dem CNT wird Dresden zu einem wichtigen Forschungsstandort für Nanoelektronik in Europa.

Die Halbleiterhersteller stehen derzeit vor der Herausforderung, die Strukturen bis unter 50 Nanometer weiter zu verkleinern und diese Innovationen schnell in die Fertigung zu implementieren. Die Halbleitertechnologie ist eine wichtige Grundlage für die Entwicklung in vielen anderen Branchen. Sie erschließt neue Produkte und Märkte. Nanoelektronische Technologien werden so zu einer umfassenden Basistechnologie. Dresden bietet dabei in Deutschland mit der laufenden 300-mm-Speicherfertigung (DRAM) von Infineon und den beiden Mikroprozessor-Werken (Fab 30 und 36) von AMD ausgezeichnete Standortbedingungen für eine partnerschaftlich betriebene Forschungsplattform für Nanoelektronik.

In den 800 m² Reinräumen des CNT können die Industriepartner Infineon und AMD zusammen mit Fraunhofer-Forschern, der TU Dresden und weiteren Instituten Prozesstechnologien für die Fertigung der Nanoelektronik entwickeln. Das CNT ist offen für die Zusammenarbeit mit Material und Geräteherstellern.

Insgesamt investieren Unternehmen und Staat zusammen 700 Mio. Euro in den Ausbau des Nanoelektronikstandorts Deutschland. Ein Drittel dieser Mittel stammen vom Bund, dem Land und der EU. Neben den Gebäudekosten unterstützen das Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) und der Freistaat Sachsen die neue Fraunhofer-Einrichtung in den nächsten fünf Jahren mit Zuschüssen von insgesamt 80 Mio. Euro für die Anlagen Erstausstattung. Die Industriepartner planen in diesem Zeitraum Forschungsprojekte von rund 170 Mio Euro, die vom BMBF, dem Freistaat Sachsen und der EU-Kommision mit 85 Mio Euro gefördert werden.

Schwerpunktthemen des CNT sind die Bearbeitung ausgewählter Prozessschritte für die Fertigung von High-Density-Speicherbausteinen sowie High-Performance-Transistoren. Die Vertragsvereinbarung für das CNT sieht zunächst eine Laufzeit von fünf Jahren vor, an deren Ende eine gemeinsame Evaluation stehen wird. Fraunhofer-Gesellschaft und Industriepartner streben den Betrieb einer dauerhaft betriebenen Forschungsplattform an. Entscheidend für die Fortsetzung werden Erfolg und Marktentwicklungen auf der einen und die Entwicklung der Förderlandschaft auf der anderen Seite sein.