News Intel setzt sich für EUV-Lithographie ein

[Frank]

Intel plant schon frühzeitig für die Zukunft und hat nun ein technisches Entwicklungsabkommen mit Cymer geschlossen, um gemeinsam eine Strahlungsquelle für EUV-Lithographie zu entwickeln. Zu diesem Zweck möchte Intel Unternehmen unterstützen, die sich auf die Entwicklung von UV-Lichtquellen wie Excimer-Laser spezialisiert haben.

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[xLoMx]

Also ich halte von EUV nichts. Die wellenlänge ist gut gewählt bei ca. 13nm ist ein wasserfenster dann muss man für das belichten nicht im vakuum arbeiten aber eine 13,5nm lampe die 13,5nm mit der nötigen leistung bereitstellt ist sehr schwer zu bauen, außerdem lassen sich 13,5nm nicht mehr mit linsenoptiken fokusieren. es bleiben also nur spiegel. das ist aber auch nicht besonders gut, denn 13,5nm sind schon im röngtenbereich (naja fast). und damit gehen die schon durch fast alles durch, halt fast wie röngtenstrahlen. die heutigen "röngtenspiegel" haben eine reflektivität von ca. 70% also nicht besonders hoch. das wiederum ist direkt gekoppelt mit der lichtleistung. umso schlechter die spiegel reflektieren umso mehr licht muss man reinstecken. also die lampen sind sehr schwer zu bauen und die haltbarkeit ist auch nicht gerade berauchend, ausserdem ist mit dem ansatz sowieso nur eine art blitzlampe möglich.

als aussicht: wenn die das wirklich machen möchten bleibt wohl nur ein teilchenbeschleuniger
dann kann mit hilfe von undulatoren dann syncronlicht erzeugt werden und dieses ist bis jetzt die besste möglichkeit solch ein licht herzustellen, außerdem kann man sogar noch weiter runter. Tesla soll runter gehen 0,1pm

 

[phs]

Naja ich versteh ja nicht viel von diesem Zeugs, aber grundsätzlich ist es ja sinnvoll die Strukturen zu verkleinern und ich denke nicht, dass Intel da einen Anflug von Solidarität mit einem kleinen Hersteller hat und einfach so 20 Mio. Dollar "spendet". Bis 2009 kann sich noch viel ändern und ich könnte mir vorstellen, dass Intel einfach den richtigen Riecher hat. Aber ich kann natürlich auch komplett daneben liegen mit meiner Prognose...

 

[value]

Und was wird der Spaß dann kosten ? ... wenn das in sagen wir einfach mal 6 Jahren in die Fertigung gehen soll, wie wollen die so Wafer herstellen die man auch bezahlen kann ?

 

[Blaubierhund]

die grenzen der heutigen herstellungsprozesse sind schon deutlich sichtbar. wird wohl nimmer allzu lange dauern, bis völlig neue wege begangen werden müssen. vielleicht ändert sich des ja alles mit dem quantenrechner...

ich denk mal die kosten werden sich mit der massenproduktion relativieren. wenn die euv-lithographie erst ein mal serienreif ist, wird die herstellung net viel teurer sein, bzw. werden soviel mehr produziert, dass sich die kosten besser verteilen lassen. der bedarf an microchips aller art steigt exponentiell an. schon heute geht ja fast nix mehr ohne sie...

 

[[AlphaRC]Eraser]

@2: Wenn die Spiegel zu durchlässig werden wird höchstwahrscheinlich mit Magnetfeldern gearbeitet....bin mal gespannt was die Zukunft bringen wird..

 

[xLoMx]

es gibt andere möglichkeiten atomar zu belichten, man muss nicht licht nehmen, elektronenstrahlen zum beispiel. warum sollte man außerdem runter auf 3-4 atomen? das ist alles gigantomanie, immer schneller immer kleiner. eine neue bessere architektur kann wunder bewirken, warum sollte man immer schneller sachen nacheinander rechnen wenn man die teile parallel rechnen kann. das spart dann auch strom.

ich glaube schon das sie die probleme mit den euv in den griff bekommen, es soll ja mitlerweile schon spiegel geben die 90% reflektieren, bloß das reicht noch lange nicht 99,9% braucht man schon, denn es werden ja minestens 15 spiegel benötigt. das wären dann 0.9^15 dann bleiben nur noch 20% übrig. naja soviel geld wie da drin steckt kommen die schon durch damit.

 

[ECKI]

Ich frag mich warum die in der fertigung nicht gleich Elektronenstrahlschreiber einsetzen?
ich hab die dinger auf arbeit stehn naja und ich mach meine strukturen auch klein genug, hab in der ausbildung mal bisel rumexperimentiert und strukturen mit rund 10 nm hingekriegt.
das einzige problem dabei ist der durchsatz ich brauch für ein teil um die 6h und das tool kostet im unterhalt am tag soviel wie ich im monat verdien. aber da gibts sicher möglichkeiten das anders zu lösen das man mehr durchsatz hat.

 

[xLoMx]

Genau,

das mit der zeit ist bestimmt in den griff zu bekommen, ist auf alle fälle wahrscheinlicher wie EUV. und eine litograthieeinheit kostet locker 10mal pro monat wie du verdienst.

 

[Blaubierhund]

@7) genau, die meisten prozessorarchitekturen haben mittlerweile alle schon einige jahre auf dem buckel. der hammer basiert auch auf der alten athlon-architektur und wurde nur optimiert und erweiter (64-bit, speichercontroller, sse2 und bessere sprungvorhersage, etwas verlängerte pipes für fpu und alu). auch der banias später dothan von intel sollen noch auf der alten aber vergleichsweise effizienten p3-architetktur aufbauen, die ja net für hohe taktraten ausgelegt ist. und der p4 als jüngster spross der intel-prozzis wird wohl auch noch ein paar jahre tun müssen. auch die powerpc´s von ibm für die appels sind nicht wirklich neu, und basieren auf ner 64-bit server-prozzi-architektur. und selbst via´s c3 cpu´s gehen zurück auf cyrix-zeiten (lang lang ists her). transmeter verbessert auch nur ihre ursprüngliche archtiektur durch erweiterungen (agp-port, spiecherkontroller und interne 256-bit genauigkeit) wobei sich bei den transmeta-cpu´s noch viel mit der software optimieren lässt.

ne wirklich neue architektur würd bestimmt mal frischen wind in die entwicklung bringen. ich halte es auch für hirnrissig immer nur leistungsgewinne durch kleinere strukturen und somit taktsteigerungen zu erzielen, oder über cachevergrößerungen.