Fabrikausrüster: ASML fixiert 23 Bestellungen für neue EUV-Systeme

Selten zuvor war es so sichtbar wie heute, was die Zukunft der Halbleiterfertigung betrifft: EUV ist da und der neue High-End-Standard. ASML als Ausrüster aller modernen Fabriken in diesem Metier hat im zurückliegenden dritten Quartal den Bestelleingang von gleich 23 neuen Geräten verbucht und so einen Firmenrekord aufgestellt.

Der EUV-Zug nimmt beständig mehr an Fahrt auf. Die neue Lithografietechnik ist ein elementarer Baustein für die Chips der Zukunft, die ersten laufen bereits vom Band. TSMC als einer der größten Kunden von ASML nutzt die Technologie mit ultraviolettem Licht bereits für einige Belichtungsschritte in der 7-nm-Fertigung und vermeldete vor kurzem, dass finale Chips im neuen 7-nm-Verfahren mit EUV-Technik alias „N7+“ inzwischen in hohen Stückzahlen ausgeliefert werden. Für Ende 2020 plant TSMC den Beginn der Massenfertigung im N6-Verfahren mit EUV, dann sollen noch mehr Einzelschritte von klassischer Immersionslithografie zu EUV wechseln.

TSMC setzt dabei primär auf die NXE:3300-Serie als auch einige neue NXE:3400 von ASML. Der niederländische Fabrikausrüster hat in diesem Quartal von insgesamt sieben ausgelieferten EUV-Systemen auch die ersten drei NXE:3400C ausgeflogen. Die 3400C ermöglicht durch higher transmission optics die Belichtung von 170 Wafern pro Stunde (Wph), bisher waren die Maschinen mit 150 Wph bis 155 Wph spezifiziert. Ein höherer Ausstoß in der gleichen Zeit wirkt sich positiv auf die Wirtschaftlichkeit aus.

Ab kommendem Jahr ist DRAM am Zug

Beim Einsammeln der Bestellungen für EUV-Scanner macht ASML große Fortschritte. Zehn neue Bestellungen gingen im zweiten Quartal für EUV-Systeme ein, im aktuellen dritten Quartal wurden wie im zweiten Quartal sieben NXE-Systeme mit einem Gesamtwert von 750 Millionen Euro ausgeliefert. Für das letzte Quartal strebt ASML die Auslieferung von acht Systemen mit einem Wert von 950 Millionen Euro an. Die gesteigerte Summe ergibt sich daraus, dass mehr und mehr Systeme direkt im neuen Standard NXE:3400C ausgeliefert werden, die für Kunden teurer sind – und ASMLs Marge erhöhen. Im kommenden Jahr sollen nahezu alle auszuliefernden Systeme NXE:3400C sein, insgesamt plant der Hersteller mit rund 35 Stück. Ein Großteil davon soll nicht nur für Logic-Chips genutzt werden, sondern ab 2020 auch für DRAM.

A substantial percentage of those 23 is in fact related to DRAM.

ASML CFO Roger Dassen

Die Angaben im Quartalsbericht sind unterm Strich ein Fingerzeig auf die Summe, die beim Bestelleingang der nächsten 23 Systeme zugegen ist. Wenngleich ASML den Wert nicht direkt offiziell beziffert, wurden im dritten Quartal Aufträge von insgesamt 5,1 Milliarden Euro gesichert (EUV plus klassische Scanner), im Vorjahr waren es mit fünf bestellten EUV-Systemen sowie den weiteren Belichtungssystemen deutlich geringere 2,2 Milliarden Euro.

ASML hat das dritte Quartal 2019 im Vergleich zum Vorjahr mit einer leichten Umsatzsteigerung von 2,776 auf 2,987 Milliarden Euro aber einem gleichzeitig von 680 auf 627 Millionen Euro gesunkenen Nettogewinn abgeschlossen. Dies ist unter anderem darauf zurückzuführen, dass die Ausgaben für Forschung und Entwicklung in diesem Quartal rund 25 Prozent höher waren als noch vor einem Jahr.