Ab September: Neue Exportrichtlinien der USA für DUV-Scanner von ASML

Update 2 Volker Rißka
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Ab September: Neue Exportrichtlinien der USA für DUV-Scanner von ASML
Bild: ASML

ASML steht schon länger zwischen den Fronten im US-China-Handelskrieg. Im September sollen schärfere Auflagen DUV-Systeme von ASML treffen, ähnlich wie Nvidias A800 und H800 nahe der Grenze der Sanktionsbestimmungen.

Klassische Lithografie rückt in den Fokus

DUV-Systeme sind das Rückgrat der Chipfertigung, selbst in EUV-Zeiten. Sie wurden und werden stetig weiterentwickelt, wobei hohe Stückzahlen und sehr hohe Ausbeute bei einfacherer Bedienbarkeit und hoher Langlebigkeit dank Upgrades im Feld im Fokus liegen. Über diese Wege kam deshalb auch China stets noch an nahezu die beste Technik.

Das beste Gerät in ASMLs Portfolio, der TWINSCAN NXT:2000i unterliegt schon den Exportbestimmungen und US-Handelsrestriktionen. Nun sollen diese auf die Vorgängergeneration TWINSCAN NXT:1980Di ausgeweitet werden, was mehr Kundschaft in China betreffen würde. Sechs Fabriken nennt der Bericht von Reuters, unter anderem soll es sich um Anlagen von SMIC handeln. Das überrascht nicht, schließlich ist SMIC der technologisch am weitesten fortgeschrittene Anbieter in China.

ASML hatte zuletzt zusammen mit der niederländischen Regierung stets Gegenwehr gegen die bloße Übernahme der US-Regularien gezeigt. Die neuen Bestimmungen, die im Juli beschlossen werden, sollen sich jedoch darauf berufen, dass in den ASML-Maschinen auch Bauteile aus US-Fertigung stammen und so nicht nach China exportiert werden dürfen. ASML hatte vor über zehn Jahren unter anderem Cymer zugekauft, die bei der Entwicklung der Laser halfen. Cymer agiert noch immer unabhängig und beschreibt sich selbst als „industry leader in DUV technology“ – hier könnten die USA ansetzen.

Die Entscheidung zielt auf ein neues Komplettpaket der USA. Zum 23. Juli gehen Restriktionen in Japan in Kraft, dann werden unter anderem Nikon und Tokyo Elektron an die Kette gelegt und dürfen bestimmte Halbleiterausrüstung nicht mehr nach China exportieren. Im September sollen die neuen ASML-Bestimmungen folgen, im Oktober wird ebenfalls ein Update der gesamten Handelsrestriktionen erwartet. Allem Anschein nach werden die Daumenschrauben weiter angezogen.

Passend kommt aus China die Aussage, dass Lieferanten von Systemen für die Halbleiterhersteller diese doch bitte zurückkaufen sollen, wenn sie nicht mehr nutzbar sind, wie Bloomberg unter Berufung auf Aussagen des Chefs von Yangtze Memory im Rahmen eines Industrie-Events in Shanghai schreibt .

Update

ASML hatte sich ebenfalls noch offiziell zu der Thematik geäußert. Der Marktführer für Lithografiesysteme erklärte, dass von nun an je nach Auftrag für die modernsten DUV-Systeme entschieden wird, ob es eine Lizenz gibt oder nicht. Die aktualisierten Exportrichtlinien sollen ab dem 1. September greifen, finanzielle Auswirkungen erwarte man vorerst keine.

Due to these export control regulations, ASML will need to apply for export licenses with the Dutch government for all shipments of its most advanced immersion DUV lithography systems (TWINSCAN NXT:2000i and subsequent immersion systems). The Dutch government will determine whether to grant or deny the required export licenses and provide further details to the company on any conditions that apply.

As a reminder, sales of ASML’s EUV systems have already been restricted.

Shipments of other ASML systems are not controlled by the Dutch government.

ASML will continue to comply with applicable export regulations, including Dutch, EU and US regulations.

The new Dutch export control regulations will come into effect on September 1, 2023. ASML can start submitting export license applications before that date. The Dutch government will grant or deny these applications on a case-by-case basis.

Based on today’s announcement, we confirm that we do not expect these measures to have a material impact on our financial outlook that we published for 2023 or for our longer-term scenarios as communicated during our Investor Day in November 2022.

ASML
Update

Laut Bloomberg wird ASML ab September auch beim Support, der Reparatur inklusive benötigter Ersatzteile oder auch schon der Wartung bisheriger Anlagen strenger unter Kontrolle stehen. Auch hier könnten explizite Genehmigungen für jeden einzelnen Fall nötig werden. Im Rahmen des Quartalsberichts in dieser Woche werden dazu auch einige Aussagen direkt von ASML erwartet, vor allem in Bezug darauf, wie es sich auf das Geschäft auswirken wird. Bisher hatte ASML dies stets klein geredet.