Schichtdickenmessung: Welche optischen Verfahren gibt es?

McPfaffe

Lt. Junior Grade
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Jan. 2006
Beiträge
411
Hallo Leute!

Ich hoffe ihr könnt mir helfen......
Und zwar brauche ich einige optische Meßverfahren zur Schichtdickenmessung an Dünnschichten.

Folgende Messverfahren habe ich bereits gefunden:
Messung über Weißlichtinterferenz, Ellipsometrie und Triangolationsdetektoren.

Wäre nett, wenn ihr mir bitte weitere Meßverfahren nennen könntet, am besten mit Link zu einer Seite, auf der das Verfahren erklärt wird. Vielleicht habt ihr auch gute Vorschläge, auf welchen Seiten die bereits erwähnten Verfahren vernünftig erklärt werden.

Ich bedanke mich schonmal im Voraus! (ich benötige die Informationen für einen Vortrag im Rahmen meines Studiums)

Gruß,
McPfaffe
 
Vielen Dank für die Antwort, JackRipper!

Leider habe ich keinen Zugriff auf die Veröffentlichungen dieser Website und habe auch nichts gefunden wie ich mich dort registrieren o.ä. kann.

@all: Ich wäre für weitere Vorschläge sehr dankbar!

Gruß,
McPfaffe
 
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