Mehr EUV-Systeme von ASML: SK Hynix zahlt Premium-Preise für extra schnelle Lieferung
Die Bestellung in Milliardenhöhe von SK Hynix bei ASML vor wenigen Tagen und dabei anvisierten Lieferzeiten nur bis Ende 2027 warf einige Fragen auf, wie das denn umgesetzt werden kann. Ein Teil der Fragestellung wird wohl durch höhere Preise beantwortet werden.
Ende März kündigte SK Hynix offiziell an, für 6,913 Milliarden Euro bei ASML EUV-Systeme zu kaufen. Vor allem der dabei anvisierte Zeitraum überraschte, ist er doch ein ziemlich kurzer. Denn pro Jahr baut ASML nicht einmal 50 EUV-Systeme – zuletzt waren es im Jahr 2024 44 Systeme und 2025 48 Systeme – deren Stückpreis zuletzt jedoch deutlich angestiegen sein soll. Es waren vor einigen Jahren wohl zum Auftakt nur 140 Millionen Euro pro System, dann 160 Millionen, 180 Millionen und nun sollen es wohl 200 Millionen Euro und mehr sein.
EUV-Scanner werden immer besser
Der höhere Preis begründet sich dabei aber nicht nur in den gestiegenen Materialkosten und sonstigen Veränderungen im Markt, sondern vor allem auch in der Aufwertung der Maschinen. Ein modernster Twinscan NXE:3800E, wie das Flaggschiff der EUV-Systeme heißt, belichtet heutzutage viel mehr Wafer als die ersten Systeme dieser Baureihe. Die Produktivität wurde zuletzt auf über 220 Wafer pro Stunde gesteigert, ein NXE:3400C aus dem Jahr 2020 schaffte kaum 135 Wafer die Stunde.
Wie üblich bei ASML können die Systeme auch im Einsatz aufgewertet werden, in Zukunft soll die Produktivität weiter steigen (und vermutlich auch der Preis).
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High-NA-Systeme auf ASMLs Roadmap nebst aufgewerteten EUV-Systemen (Bild: ASML)
Südkoreanische Medien berichten, dass der Preis pro System nun sogar bei umgerechnet 230 Millionen Euro liegen könnte. Hinzu kommt nun angesichts des sehr kurzen Zeitfensters der Lieferungen, dass SK Hynix wohl einen Aufschlag von 15 bis 20 Prozent zahlen könnte, was zum Teil jedoch damit verrechnet wird, dass es bei Großbestellungen gewisse Rabatte gibt. So etwas ist in der Halbleiterindustrie nichts außergewöhnliches, auch die Chip-Hersteller verkaufen gern Premium-Slots in der Fertigung zu höheren Preisen – der Kunde bekommt dafür seine Produkte früher.
High-NA-EUV in der Erprobung
Am Ende wird damit gerechnet, dass SK Hynix wohl rund 20 EUV-Systeme abnehmen wird. High-NA-EUV-Scanner sollen letztlich kein Bestandteil dieser Bestellung sein, einen davon nutzt SK Hynix in der aktuellen Ausbaustufe bereits in der Erprobung.