News ASML auf Expansionskurs mit EUV-Equipment

[Natzcape]

Die Stromkosten die so ein Teil verursacht durch den schlechten Wirkungsgrad des Laser in Verbindung mit der Spiegeloptik, bei der wieder 90% verloren geht sind auch immens...ah ich lese grad...ein 3kW Laser...und das ist schon eine Minimalanforderung.....

 

[florian.]

ich denke die Stromkosten sind das geringste problem

 

[Natzcape]

Naja...rechnest du den Reinraum dazu....und die Vakuumpumpen....all das gehört dazu und verschlingt immense Mengen an Strom.

 

[Bully|Ossi]

Nur spielt das keine Rolle, dann würde mich mal interessieren, wie du darauf kommst das die Spiegel 90% schlucken, bei 99,99% refelektion?

 

[Mr. Snoot]

Woher hast du denn 99,99 % Reflexion?

Soweit ich weiß liegt die Reflexion eines Spiegels bei ca. 70-80 %. Da aktuell wohl sechs Spiegel verwendet werden, ergibt sich daraus eine Gesamtreflexion von 11 bis 26 %.

 

[Matzegr]

Woher hast du denn 99,99 % Reflexion?

Soweit ich weiß liegt die Reflexion eines Spiegels bei ca. 70-80 %. Da aktuell wohl sechs Spiegel verwendet werden, ergibt sich daraus eine Gesamtreflexion von 11 bis 26 %.

Wo hast du deine Zahlen her?

Ein normaler metallbeschichteter Spiegel kommt auf bis zu 96% (Wellenlängenabhängig)
Bei Laser setzt man allerdings Interferenzspiegel ein, die bis > 99,99% reflektieren. Die Reflektion ist allerdings nur in einem begrenzten Wellenlängenbereich und bei bestimmten Einfallswinkeln so gut.

 

[zypresse]

Hier z.B.

http://de.wikipedia.org/wiki/EUV-Lithografie#Abbildende_Optik_und_Maske

Die Anforderungen an die Ebenheit der Spiegelsubstrate und die Qualität der Schichten sind enorm und stellen technologische Herausforderungen dar. Die theoretisch erreichbare Reflektivität dieser Spiegel liegt bei etwa 70 %, in einem 6-Spiegelsystem gehen also mehr als 90 % der Strahlung an diesen Spiegeln verloren.

 

[Mr. Snoot]

I.d.R. aus Papern von SEMATECH.

Hab noch nie gesehen, dass irgendwo mehr als 80 % erreicht werden (eher noch <70 %), egal mit welcher Quelle.

 

[Matzegr]

I.d.R. aus Papern von SEMATECH.

Hab noch nie gesehen, dass irgendwo mehr als 80 % erreicht werden (eher noch <70 %), egal mit welcher Quelle.

Ok, mein Fehler. Bin dummerweise noch von "normalen" Wellenlängen von Lasern ausgegangen. 13,5 nm ist ja wesentlich kleiner, also wird es schwieriger diese Strahlung zu reflektieren. Hab mal bei Carl Zeiss geschaut (Die bauen ja die Optik für ASML). Die geben eine Reflektion von ihrem alpha demo tool von 67 % bei einer Lebensdauer von > 1000h an (Daten von 2004).