News ASML auf Expansionskurs mit EUV-Equipment

[Volker]

Der niederländische Konzern ASML als weltgrößter Hersteller von Lithografiesystemen hat sich in zwei Veranstaltungen zum aktuellen Stand der nächsten Generation von Belichtungssystemen für Wafer, der sogenannten „extreme ultraviolet“ (EUV), geäußert. Demnach hat der Konzern bereits zehn Bestellungen für 2012 erhalten.

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[Rickmer]

bereits zehn Bestellungen erhalten für 2012 erhalten.

Ansonsten:
Schöne News, auch wenn ich von Lithographie-Systemen nicht sonderlich viel Wissen akkumuliert habe bisher.
Aber technologischer Fortschritt ist immer gute News.

 

[Affenkopp]

Wirklich interessant. Aus diesem Bereich bzw. von dieser Technik wusste ich bisher gar nichts.

 

[memory_stick]

Von wem sind dann diese 10 Bestellungen? Weiss man davon Etwas?

Ich könnte ja mal den Spekullatius anwerfen und vermuten, dass da Intel seine Finger im Spiel hat Evtl auch Globalfoundries, allerdings bin ich nicht sicher, ob diese auch schon 16/14nm für 2013(wie Intel) geplant haben... denn bei diesen Fertigungsstrukturen werden diese EUV-Litohgraphiesysteme wahrscheinlich das erste mal zum Einsatz kommen...

mfg memory_stick

 

[zypresse]

Soweit ich weiß, stehen die ersten beiden Maschinen bereits, allerdings erst mit beta-equipment. Eine bei Intel und die andere am imec in Leuven.

 

[repix]

krasse teile, wenn eine firma damit überlebt, wenn die 10 stück davon im jahr verkaufen... der hammer! solche news rocken echt und geben einem aml einen tieferen einblick. thx

 

[memory_stick]

@Zypresse

Thx , dachte mir eben schon, dass Intel damit am experimentieren ist. Dass die ganze Ausrüstung noch Beta ist versteht sich von selbst, steht ja auch zusätzlich in der news...

Von IMEC wusst ich bis jetzt nichts, die scheinen ein Messgerätehersteller zu sein... Nun denn, wenn ich jetzt genauere Sensoren kriege, solls mir recht sein

mfg memory_stick

 

[Matzegr]

Von wem sind dann diese 10 Bestellungen? Weiss man davon Etwas?

Ich könnte ja mal den Spekullatius anwerfen und vermuten, dass da Intel seine Finger im Spiel hat Evtl auch Globalfoundries, allerdings bin ich nicht sicher, ob diese auch schon 16/14nm für 2013(wie Intel) geplant haben... denn bei diesen Fertigungsstrukturen werden diese EUV-Litohgraphiesysteme wahrscheinlich das erste mal zum Einsatz kommen...

mfg memory_stick

Intel auf jedenfall, ebenfalls Hynix, IMEC, Samsung, Toshiba, TSMC und Globalfoundries.

Globalfoundries plant einen Einsatz in der Fab 8, die derzeit dafür umgebaut wird. Die volume production mit EUV ist für 2014/15 geplant, die risk production für Ende 2012.

 

[M.E.]

Die Forschung macht dann eben doch nie halt. Schön zu hören, dass es vorerst mit diesem Verfahren weiter geht. Denn eine wirklich massentaugliche Alternative scheint es ja in naher Zukunft noch nicht zu geben?

 

[terraconz]

Weiß einer was die 10 Bestellungen so pro Stück bezahlt haben? Die preise müssen gigantisch sein für solche High End Hardware. Irgendwie schon erstaunlich was wir aus Feuersteinen und Stöcken so alles gemacht haben! Wenn man darüber nachdenkt dann explodiert einem das Hirn wie weit wir heute schon sind und fast alles in 100 Jahren Fortschrittm ich freu mich tierisch auf die nächsten 100.

 

[zypresse]

Also, was so bezahlt wurde, weiß ich nicht. Aber für die ungefähren Kosten eines 13nm Lasers stand mal die Zahl 100mio im Raum. Jetzt weiß ich allerdings nicht ob da die ganze Optik mit eingeschlossen ist.

 

[terraconz]

WTF 100mio?!
Dachte ja des viel ist aber dachte eher im Bereich 10-50mio aber 100mio ist der Hammer.

 

[Matzegr]

Also, was so bezahlt wurde, weiß ich nicht. Aber für die ungefähren Kosten eines 13nm Lasers stand mal die Zahl 100mio im Raum. Jetzt weiß ich allerdings nicht ob da die ganze Optik mit eingeschlossen ist.

Es ist kein Laser im eigentlich Sinn mehr, da die Strahlung nicht durch stimulierten Emission erzeugt wird. Laser ist ja nur die Abkürzung für "Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation"

Die Strahlung bei den EUV-Anlagen wird durch Plasma erzeugt, dazu wird ein fokusierter Laserstrahl (CO2-Laser) auf Zinn gerichtet.

Die R&D Kosten für die EUV liegen so hoch wie die Kosten der letzten beiden Generationen (ArF dry und ArF immersion) zusammen.

Edit: Die 100 Mio beziehen sich auf alles, also nicht nur auf die Strahlungsquelle.

 

[Haldi]

Ahhhh mit EUV machen sie weiter, nun da Immersion nicht mehr reicht.

Die genauen Kosten würden mich aber auch interessiere. Sind die öffentliche oder müssen wir da ende Jahr Umsatz/12 rechnen?

 

[Matzegr]

Wem es interessiert. Die R&D Kosten für EUV belaufen sich auf 1,5 Milliarden $ für ASML und nochmal 600 Millionen $ für Zeiss (für die Optik).

Beim cost of ownership ist EUV kosteneffektiver als die Immersionslithografie.

 

[wilbad]

was schätzt ihr wieviel eine Maschiene so kostet?

 

[aylano]

@Matzegr
Sehr interessant was du da sagts.

Wem es interessiert.

Jupp, wenn du mehr Infos hättest, wäre es nicht schlech.

Weißt du wieviele solche Belichtungsmaschinen in so einer Fabrik steht wie
Fab36=Fab1-Modul1 ... (30.000 Wafer/Monat) oder
Giga-Fab von TSMC mit 100.000 Wafer/Monat)

PS: 100 Mio. $ scheint mir jetzt nicht so teuer. Denn eine Fabrik kostet ja auch so 3-4 Mrd. $

 

[terraconz]

Ich dachte aber bis jetzt immer das eine Fabrik auch aus zig solchen Geräten besteht plus noch zig anderer High Tech die nicht billig ist. Und da war ich schon überrascht von 100mio.

 

[Matzegr]

Weißt du wieviele solche Belichtungsmaschinen in so einer Fabrik steht ...

Für die 22-nm Produktion soll Intel 18 Belichtungseinheiten von ASML (40 Mio $ pro Stück) und 25 Belichtungseinheiten von Nikon (30 Mio $ pro Stück) einsetzen.

2010 wurden 112 Belichtungseinheiten für die Immersionslithografie verkauft, davon 85 von ASML und 27 von Nikon.

 

[Bully|Ossi]

krasse teile, wenn eine firma damit überlebt, wenn die 10 stück davon im jahr verkaufen... der hammer! solche news rocken echt und geben einem aml einen tieferen einblick. thx

Ein ASML Stepper, kostet von ca 50 Mio bis 150 Mio... da kannste je nach Ausbau schon gut leben mit 10 Verkauften Stück zumal da auch noch viel Geld durch Service usw. rein kommt...

Ist ja nicht so, dass diese Dinger jeder einfach mal so warten kann.

Angeblich sollen auch bei Globalfoundries Fab 8 diese Dinger eingesetzt werden...