News G11 NAND: Micron überspringt G10 und geht auf 400+ Layer mit höchster Bitdichte

MichaG

Redakteur
Teammitglied
Registriert
Juli 2010
Beiträge
14.990
Irgendwie verstehe ich den Zweck von mehr Layern noch nicht richtig.
Limitiert ist die Speicherproduktion doch von der Zahl der pro Tag belichtbaren Wafer. Und die ändert sich nicht, auch wenn man 400 oder bald 1000 davon übereinanderstapelt.

Klar, für den Form Factor vom Package und die Bits pro Gehäuse, Energieeffizienz und sowas sind mehr layer in kleineren Packages besser. Aber die Produktion an sich steigt mit mehr Lithographie etc, nicht, indem man das vorhandene anders verpackt und dafür proportional weniger Gehäuse dabei rumkommen.

Oder bin ich irgendwo falsch abgebogen und denke über das verkehrte Problem nach?
 
  • Gefällt mir
Reaktionen: Weyoun
Looniversity schrieb:
Irgendwie verstehe ich den Zweck von mehr Layern noch nicht richtig.
Limitiert ist die Speicherproduktion doch von der Zahl der pro Tag belichtbaren Wafer. Und die ändert sich nicht, auch wenn man 400 oder bald 1000 davon übereinanderstapelt.

Bei 3D NAND baut man die Speicherzellen nicht einfach Schicht für Schicht. Es gibt auch Schritte die über viele Schichten "auf einmal" gehen.

https://thememoryguy.com/3d-nand-making-a-vertical-string/
 
  • Gefällt mir
Reaktionen: CDLABSRadonP..., feris, lzon und 3 andere
Die Chips werden doch immer winziger in der Fläche und so gibt es pro Wafer einfach viel mehr davon, auch wenn sich die Speicherkapazität pro Chip kaum verändert.
 
Man legt beim „Stapeln“ von 3DNANd ja auch nicht einfach die Chips eines oder mehrerer Wafer übereinander.
Bei 400+ Schichten hättest dann sicher auch keine dünne NVMe 2280 im Rechner, sondern eher schon ein quaderförmiges Objekt mit mehr als 4-5mm Höhe.
Denn so dünn sind die Wafer auch ned.

Die Liste aus Wiki einfach mal ein wenig weiterspinnen (1Mikrometer/Micron = 0,0001mm):
IMG_7417.jpeg
 
=dantE= schrieb:
Man legt beim „Stapeln“ von 3DNANd ja auch nicht einfach die Chips eines oder mehrerer Wafer übereinander.
doch, genau das macht man. allerdings geschieht das mit dies, die selber schon besagte 400+ schichten haben. hier mal anschaulich:
 
  • Gefällt mir
Reaktionen: Kitsune-Senpai, Nutcatcher, CDLABSRadonP... und eine weitere Person
=dantE= schrieb:
Denn so dünn sind die Wafer auch ned.
Das ist direkt nach Produktion und für Transport etc. Vor dem Verbauen werden diese heruntergeschliffen - bei NAND sind Dicken zwischen 100µm und 40µm ganz üblich. Aus dem heruntergeschliffenen Wafer werden dann die Dies ausgeschnitten und diese dann übereinander gestapelt.

Die eigentliche aktive Schicht mit der ganzen Elektronik und den Flashzellen ist im jeweiligen Die nur 5-20µm dick. Und in diesen paar µm aktive Schicht befinden sich wie 0x8100 schon geschrieben hat die mehreren hundert Schichten an NAND Zellen.

An Dies stapelt man dann so üblicherweise irgendwas zwischen 1-16 pro Package.
 
  • Gefällt mir
Reaktionen: Kitsune-Senpai
Looniversity schrieb:
Irgendwie verstehe ich den Zweck von mehr Layern noch nicht richtig.
Limitiert ist die Speicherproduktion doch von der Zahl der pro Tag belichtbaren Wafer. Und die ändert sich nicht, auch wenn man 400 oder bald 1000 davon übereinanderstapelt.
Die Layer sind alle auf einem Wafer. Erst die kommenden Generationen ist Waferstacking auch für die NAND Layer geplant. Bisher ist nur Logik und Speicherzellen getrennt.

Natürlich wird die Komplexität erhöht, wenn man mehr Layer hat. Es sind auch mehr Prozessschritte nötig. Aber dauert bei weitem nicht doppelt so lange um 400 statt 200 Layer zu machen. Nur Schritt (a) braucht erheblich länger. Ein paar andere Schritte sind deutlich komplexer brauchen aber nicht zwingend deutlich mehr Zeit.1792723208796.png
 
Zuletzt bearbeitet:
  • Gefällt mir
Reaktionen: STM64 und CDLABSRadonP...
MichaG schrieb:
Die Chips werden doch immer winziger in der Fläche und so gibt es pro Wafer einfach viel mehr davon, auch wenn sich die Speicherkapazität pro Chip kaum verändert.
Daraus folgen dann wahrscheinlich auch der schnellere Datentransport, da weniger Strecke zurückgelegt werden muss?
 
bensen schrieb:
Die Layer sind alle auf einem Wafer
Okay das ist anders als ich mir das vorgestellt habe.
Aber die Layer müssen doch trotzdem alle separat durch die Belichtung? Effektiv spart es also trotzdem keine Maschinendurchgänge. Klar, spart Wafer-Prep und sowas, aber eben keine Belichtung. Oder doch?
 
Du hast dir das Bild angeschaut was ich gepostet habe? Man sieht ja, dass nicht alle Schritte mehrfach (oder gar 400x) ausgeführt werden müssen. Man ätzt durch ein paar hundert Schichten gleichzeitig.
Dazu kommt das gesamte BEOL (Metallisierung). Das müsste man ja 400x machen bei planarem NAND. Man bräuchte auch 400 Logic Dies anstatt nur einen.
 
Zuletzt bearbeitet:
Jetzt mal ganz unabhängig davon ob die Produktion eventuell langsamer, gleich schnell oder schneller ist.

Energieeffizienz, Geschwindigkeit, Speicherdichte sind doch Grund genug für mehr Layer.
 
  • Gefällt mir
Reaktionen: HolySkillet
0x8100 schrieb:
doch, genau das macht man.

Nein.
Das sind mehrere Schichten die auf dem selben Wafer aufgetragen und dotiert werden.
Es bleibt bei einem Wafer und bei einem metalisierungsdurchgang.

Der Aufwand der prozessierung steigt mit höherer Schichtzahl, bleibt aber deutlich niedriger als 400 einzelne Wafer zu verarbeiten.
 
@0x8100

Eben nicht.
Du verwechselt Abscheidung von Dünnschichten auf den Wafer mit dem bonden mehrerer Wafer.

Es bleibt bei einem Wafer mit mehr CVD (Chemical Vapor Deposition)/ALD (Atomic Layer Deposition) Schritten.

Deposition auf dem Wafer ist ein normaler Prozessschritt. Mit Wafer bonden (mehrere Wafer stapeln) hat das erstmal nichts zu tun. Es bleibt bei einem Substrat (außer die Logik wird vom NAND getrennt, dann sind es zwei)



Um nicht nur Metalle, sondern auch SI Oxide und SI Nitride abzuscheiden ist man bei komplexeren Formen der Prozesse. Da ist z.B. Aixtron aus Deutschland Marktführer.
 
Zuletzt bearbeitet:
0x8100 schrieb:
schau dir einfach das verlinkte video an - das kann doch nicht so schwer sein!
Scheinbar doch.

Das Video zeigt wie man eine SD-Card herstellt.

Der Teil am Schluss des Videos bei dem die Dies gestapelt werden gehört nicht mehr zur Herstellung von 3D NAND, sondern zur Herstellung der SD Card aus einzelnen 3D NAND Chips.
 
Interessante Techniknews, aber letztlich hab ich gar nichts davon, da ich für Micron nicht mehr als Käufer interessant bin.
 
Oktober 2026
Zurück
Oben