CPU-Fertigung mit EUV: Intel schließt die meisten 10-nm-Probleme für 7 nm aus

Volker Rißka 129 Kommentare
CPU-Fertigung mit EUV: Intel schließt die meisten 10-nm-Probleme für 7 nm aus

Bei der 10-nm-Fertigung steht Intel mit dem Rücken zur Wand, kann aufgrund von erheblichen Problemen mit der Ausbeute nur kleine, teildefekte Chips liefern. Für die 7-nm-Fertigung schließt Intel eine Wiederholung der meisten Probleme aber ausdrücklich aus, weil der Konzern definitiv auch auf die neue EUV-Lithografie setzen wird.

Zum 2018 Annual Stockholders’ Meeting kamen gleich mehrere Fragen zum Thema Fertigung bei Intel auf – die andauernden Probleme und daraus resultierenden Medienberichte haben die Aktienbesitzer aufhorchen lassen. Intel-CEO Brian Krzanich gab daraufhin wie bereits zu den Quartalszahlen im April mehrfach die Antwort, dass die Fehler bei 10 nm erkannt wurden und an deren Behebung gearbeitete wird. In diesem Jahr wird es deshalb nur Kleinserien von CPUs in 10 nm geben, erst ab 2019 dann die Massenproduktion für alle Bereiche folgen.

Intel hat sich bei 10 nm übernommen

Deutlich wie nie zuvor ließ Intels Chef aber auch durchblicken, dass sich das Unternehmen in dem Bereich übernommen hat. Stets warb der Hersteller mit einer sehr guten Skalierung mit einem Faktor von ca. 2,4x gegenüber 14 nm, die nicht nur die Mitbewerber sondern selbst die eigenen Erwartungen übertroffen hätte. Auch neue Materialien wie Cobalt sollten dafür verantwortlich sein und die Skalierung auf bis zu 2,7x erhöhen. Sie brachten aber auch Probleme, die am Ende nun sichtbar sind. Letztlich wurden die Erwartungen so gar nicht erfüllt und die Serienfertigung ist am Ende mehr als drei Jahre zu spät dran. ComputerBase hatte die Entwicklungen zu Beginn des Jahres im Bericht „Cannon Lake: Die erste 10-nm-CPU wird für Intel zum Albtraum“ zusammengefasst.

Bei 7 nm wird alles besser!?

Für 7 nm sind deshalb keine Rekorde in der Skalierung mehr geplant, wie Intel jetzt bekannt gab. Und erstmals hat sich Intel klar für den EUV-Einsatz bei 7 nm positioniert. In den letzten Jahren hielt sich Intel hier noch vorsichtig bedeckt und hatte bekannt gegeben, dass auch 7 nm noch auf den klassischen Belichtungssystem aufbaut, da keiner der Beteiligten wusste, ob nach 20 Jahren Entwicklung die EUV-Lithografie auch wirklich einsatzbereit ist. Dem aktuellen Vernehmen nach kommt EUV jetzt aber definitiv mit zum Einsatz – offen bleibt, in welchem Umfang.

Belichtungsmaschine mit EUV-Lithografie von ASML
Belichtungsmaschine mit EUV-Lithografie von ASML (Bild: ASML)

Die Verwendung der neuen Belichtungsmaschinen von ASML ermögliche laut Krzanich vieles, was klassische Scanner vor Probleme stellt und Intels 10-nm-Fertigung bis heute torpediert. Bei 7 nm, so Intels Versprechen an die Aktionäre, solle dies nicht geschehen und die Fertigung gleichzeitig „viel einfacher“ werden.

7-nanometer will be the first one that transitions to the new lithography tool, which then opens up our ability to print features that are much, much smaller, much more easily.

[..]

So we made changes like that to make 7-nanometer much more like our traditional technology innovations that we've done and hence we believe that most of the issues that occurred at 10-nanometers would not carry over into 7-nanometers. And we continue to monitor our progress on 7-nanometers and continue to be very positive about where we're at with 7-nanometers.

Intel-CEO Brian Krzanich

Intels 10-nm-CPU vs. AMDs 7-nm-Lösung in 2019

Bis zu diesem Schritt bleibt Intel nur die auch jetzt noch stetig weiter verbesserte 14-nm-Fertigung und die Hoffnung, dass die 10-nm-Probleme schnell gelöst sind. Intel gab zuletzt an, dass der jetzige 14-nm-Prozess bis zu 70 Prozent besser sei als das, was mit Broadwell im Jahr 2014 eingeführt wurde. Auf die Frage eines Aktionärs, wie Intel denn im kommenden Jahr gegen AMDs 7-nm-Serverprozessor Rome antreten will, erklärte Intels Chef, dass die 10-nm-Produkte spätestens dann bereit sei bzw. sein muss. 10 nm von Intel entsprechen so ziemlich den 7 nm in der Marketing-Sprache der Foundrys TSMC, Samsung und Globalfoundries – es wäre der erste Patt seit vielen Jahren.