Nach Fabrik-Brand: ASML erwartet Auswirkungen auf EUV-Produktion

Volker Rißka
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Nach Fabrik-Brand: ASML erwartet Auswirkungen auf EUV-Produktion
Bild: ASML

Zum Wochenende hat ASML einen Statusbericht zum Brand bei Berliner Glas, ihrem Subunternehmen, bekannt gegeben. In den meisten Teilen sei die Produktion wieder aufgenommen worden, lediglich bei Teilen für EUV-Belichtungsmaschinen gebe es noch Probleme.

Wie groß der Umfang hier genau ist, traut sich ASML heute noch nicht zu sagen. Klassische Scanner sind zwar ebenfalls betroffen, sollen auf das Jahr gesehen aber problemlos ausgeglichen werden können.

The manufacturing of DUV components has been restarted. Although there was some disruption regarding components for DUV, we expect to remediate this in such a way that it will not affect our output and revenue plan for DUV

As to EUV, the fire affected part of the production area of the wafer clamp, a module in our EUV systems. We are still in the process of completing the recovery plan for this production area and determining how to minimize any potential impact for our EUV customers, both in our output plan and in our field service.