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NewsBessere Lichtquelle für EUV: ASML sieht Skalierbarkeit von 600 zu 1.000 und gar 2.000 Watt
ASML will die Leistungsfähigkeit der Lichtquelle in EUV-Systemen deutlich verstärken. Auf 600 sollen nun 1.000 Watt folgen – später gar bis zu 2.000 Watt; zumindest sei dieser Weg schon ziemlich gut erkennbar, erklärt ASML. Der erste Schritt soll jedoch möglichst schnell umgesetzt werden.
Etwas OT aber wer wissen will wie die Maschinen überhaupt funktionieren und etwas Background dazu haben will, folgendes Video schauen:
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Unglaublich, wo der Fortschritt immer wieder Ideen heranzieht.
@Cool Master und hier, zum selben Thema, ein bisschen grafischer.
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Für mich nach wie vor eine der faszinierendsten Branchen die so nahe am physikalischen Limit arbeitet wie kaum jemand sonst.
Jede dieser Entwicklungen verschiebt die Grenzen des Machbaren.
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Ist doch easy peasy.. wir schmelzen einen Tropfen Metal, beschießen ihn mit einem Laser der für jeden Beschuss neu kalibriert werden muss, kühlen das ganze mit Druckluft die den Tropfen aber nicht abkühlen darf und erzeugen so ein UV-Licht das durch mehrere Spiegel, die btw. auf ein Atom glatt sein müssen, genau auf eine sich bewegende "Druck" Maske geworfen wird. Und das ganze machen wir 50.000 mal in der Sekunde. Bonus dafür das es nicht ein einziges mal Schief gehen darf.
Einer der YT Kommentare hat es ganz gut erfasst "It's not Rocket Science, it's harder."
Branch Education hat auch ein tolles Video dazu:
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@TheInvisible ESMC in dresden wird auf 2nm ausgebaut. AMD / GloFo war da aber auch immer recht weit vorne mit dabei. Bin schon froh, dass es da gerade wieder voran geht.
In den USA wurde der Fabrikbau halt gerade mit knapp 100 Milliarden und protektionismus forciert.
Habeck wollte in DE einen Bruchteil davon umsetzen, bekam jedoch extrem viel Gegenwind.. Im prinzip ist das politisch gewollt. Dauert nur noch 1-2 Jahre bis wir wieder ganz vorne mit dabei sind.
das wollte ich auch schon schreiben, Cymer ist nicht Laser-Spezialist sondern baut die EUV Strahlquelle. Der Laser der die Strahlquelle pumpt kommt von TRUMPF, die Spiegel von Zeiss, Glas aus Berlin usw usw. Es steckt jede Menge deutscher Technik drin! Dass ASML aus NL kommt, soviel EU-Teamplay sollte.
PS:
small world... ich arbeite zwar nicht bei TRUMPF, aber ich bin doch schon sehr nahe dran thematisch, bin im Schnitt alle 2-3 Monate in Ditzingen und Schramberg und hab sicher 50 gute Bekannte, darunter ex-Doktoranden bei euch.
Der bessere Gain durch 3 Pulsprozess, insbesondere der Laser dafür vom anderen DE Standort sind mir extrem vertraut... habe selber 4 Stück 200W+ und zwei weitere Projekte dazu (nicht EUV sondern material processing).
Haut rein ;-)