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Als Megafab bezeichnet man heutzutage eine Waferfertigung mit einer Produktion von ca. 50000 Wafern pro Monat. In einer Gigafab werden ca. 80000 bis 100000 Wafer pro Monat hergestellt.
Liu definierte Gigafabs als Werke mit monatlichen Kapazitäten von 80 000 bis 100 000 Wafern; eine Megafab schaffe dagegen 'nur' 50 000 Wafer pro Monat.