Silver, EUV-Laser spielen in der Prozessor-Entwicklung eine sehr wichtige Rolle. Überleg mal, wie und womit beschichtet man Leiterbahnen auf Prozessoren. Deshalb interessieren sich auch die Nanotechniker sehr damit. Naja man kann auch viel mehr mit dem Ding anstellen. Mein Prof. hat es endlich geschafft so ein EUV-Laser zu bekommen und ich beschäfftige mich seit 2 Monaten damit. Das kleine Ding ist seeeeehr interessant und sorgt für Gesprächsstoff in der Uni. Ich hoffe doch sehr,dass ich bis vor den Semesterferien das Ding "richtig" zum laufen bringe. Momentan lösen sich die Argon-Elektronen nicht so richtig von den Atomen, naja eine Schwankung der Welleblänge von 5 nm ist sch.....
Laserstrahlung und Anwendungsgebiete
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Götterwind
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Re: Mikroskop erlaubt Einblick in die Nanowelt
Moin!
@lasergott
Was für ein EUV-Laser ist das denn? Als laser wäre das kein großer Fortschritt - ich sage mal Röntgenlaser im bisherigen Sinn als Vergleich dazu (ASE aus direkt mit nem Hochleistungslaser gepumpten Sn z.B.). In dem Eigentlichen Artikel ging es sicher um weniger exotische Lichtquellen (na gut, EUV ist momentan schon etwas exotisch). Ich denke mal an eine einfache Tröpfchenquelle für O5+ oder ähnliches. Oder wie siehst du das?
Der eigentliche Nutzen besteht wohl eher in der Belichtungstechnik, als in der Materialbearbeitung. Man schafft es ja noch nicht einmal ordentliche Spiegel für diese Wellenlängen herzustellen (R ungefähr 0,7). Viel Bums können die also nicht gerade haben...
Moin!
@lasergott
Was für ein EUV-Laser ist das denn? Als laser wäre das kein großer Fortschritt - ich sage mal Röntgenlaser im bisherigen Sinn als Vergleich dazu (ASE aus direkt mit nem Hochleistungslaser gepumpten Sn z.B.). In dem Eigentlichen Artikel ging es sicher um weniger exotische Lichtquellen (na gut, EUV ist momentan schon etwas exotisch). Ich denke mal an eine einfache Tröpfchenquelle für O5+ oder ähnliches. Oder wie siehst du das?
Der eigentliche Nutzen besteht wohl eher in der Belichtungstechnik, als in der Materialbearbeitung. Man schafft es ja noch nicht einmal ordentliche Spiegel für diese Wellenlängen herzustellen (R ungefähr 0,7). Viel Bums können die also nicht gerade haben...
Re: Mikroskop erlaubt Einblick in die Nanowelt
Hallo Götterwind,
ich werde mich eher überlegen müssen, wie den Laser richtig optimiere. Vor einigen Tagen war ich noch bei "Philips Deutsch*land " und hab mir den neuen EUV-Laser für die Lithographie-Entwicklung genauer angeschaut. Wauuu, mit 13 nm wird aus einem Xenon-Plasma heraus erzeugt.
Mein Problem ist nur, daß ich eine sehr hohe Leistung in die Quelle einführen muss, um aus dem Xenongas das nötige Plasma zu erzeugen. Das hat dann eine Temperatur von einigen hunderttausend Grad, konzentriert auf nur wenige Kubikmillimeter Fläche. Die extrem hohe Energie der kurzwelligen Strahlung führt zu einer immensen Belastung für alle Materialien. So werden vor allem die Elektroden sehr schnell zerstört. Ausserdem muss der ganze Vorgang naürlich im Hochvakuum ablaufen.
Vor 2 Monaten haben wir Calziumfluorid-Einkristalle bekommen.Naja die Teile sind bei den 13-Nanometer-Wellen nicht mehr zu gebrauchen und ich musste von Linsen auf Spiegel umstellen. Diese Spiegel bestehen aus einer speziellen Glaskeramik, die mit vielen Lagen aus Molybdän und Silizium beschichtet wird. Bei der Firma ZEISS wurden im Inter*ferometer die Spiegel-Rohlinge vermessen. Ihre Oberfläche wurde bis auf wenige Atomlagen genau poliert. Jede noch so geringe Unebenheit des Spiegels würde ja den EUV-Lichtstrahl unkontrolliert ablenken und so scharfe, hochaufgelöste Abbildungen auf dem Chipmaterial unmöglich machen. Immerhin sollen mit der EUV-Lithografie Strukturen mit Breiten von nur noch 30 Millionstel Millimeter hergestellt werden und das ist ein bissel zu kompliziert.
Lieber experimentieren und hoffen die Wellenlängen zu erreichen, ojeeee ;-)
Hallo Götterwind,
ich werde mich eher überlegen müssen, wie den Laser richtig optimiere. Vor einigen Tagen war ich noch bei "Philips Deutsch*land " und hab mir den neuen EUV-Laser für die Lithographie-Entwicklung genauer angeschaut. Wauuu, mit 13 nm wird aus einem Xenon-Plasma heraus erzeugt.
Mein Problem ist nur, daß ich eine sehr hohe Leistung in die Quelle einführen muss, um aus dem Xenongas das nötige Plasma zu erzeugen. Das hat dann eine Temperatur von einigen hunderttausend Grad, konzentriert auf nur wenige Kubikmillimeter Fläche. Die extrem hohe Energie der kurzwelligen Strahlung führt zu einer immensen Belastung für alle Materialien. So werden vor allem die Elektroden sehr schnell zerstört. Ausserdem muss der ganze Vorgang naürlich im Hochvakuum ablaufen.
Vor 2 Monaten haben wir Calziumfluorid-Einkristalle bekommen.Naja die Teile sind bei den 13-Nanometer-Wellen nicht mehr zu gebrauchen und ich musste von Linsen auf Spiegel umstellen. Diese Spiegel bestehen aus einer speziellen Glaskeramik, die mit vielen Lagen aus Molybdän und Silizium beschichtet wird. Bei der Firma ZEISS wurden im Inter*ferometer die Spiegel-Rohlinge vermessen. Ihre Oberfläche wurde bis auf wenige Atomlagen genau poliert. Jede noch so geringe Unebenheit des Spiegels würde ja den EUV-Lichtstrahl unkontrolliert ablenken und so scharfe, hochaufgelöste Abbildungen auf dem Chipmaterial unmöglich machen. Immerhin sollen mit der EUV-Lithografie Strukturen mit Breiten von nur noch 30 Millionstel Millimeter hergestellt werden und das ist ein bissel zu kompliziert.
Lieber experimentieren und hoffen die Wellenlängen zu erreichen, ojeeee ;-)
G
Green Mamba
Gast
Re: Mikroskop erlaubt Einblick in die Nanowelt
Ich kann dir nur bedingt folgen, aber ich hätte mal eine Frage, wie schirmt man eigentlich ein paar Kubikmillimeter Gas nach außen ab, wenn es mehrere 100.000°C hat?
Verdampft dann nicht einfach alles in der Umgebung?
Ich kann dir nur bedingt folgen, aber ich hätte mal eine Frage, wie schirmt man eigentlich ein paar Kubikmillimeter Gas nach außen ab, wenn es mehrere 100.000°C hat?
Verdampft dann nicht einfach alles in der Umgebung?
Re: Mikroskop erlaubt Einblick in die Nanowelt
Heute haben wir ein Femto-Sekunden-Laser bekommen. Sieht richtig klein und fien aus. Sooo Tischgröße ( eher Campingtisch ). Mal gucken wie das Ding funktioniert. Aber wie immer muss der Prof. erstmal alles zum laufen bekommen. Die haben alles in Einzelteile geliefert.
Hmm überleg, überleg was man alles damit machen kann.
Irgendwelche neue Forschungsideen?? Wenn ja,dann bitte anständige Ideen. Der Prof. überlet auch schon die ganze Zeit aber es soll was vernünftiges sein.
Heute haben wir ein Femto-Sekunden-Laser bekommen. Sieht richtig klein und fien aus. Sooo Tischgröße ( eher Campingtisch ). Mal gucken wie das Ding funktioniert. Aber wie immer muss der Prof. erstmal alles zum laufen bekommen. Die haben alles in Einzelteile geliefert.
Hmm überleg, überleg was man alles damit machen kann.
Irgendwelche neue Forschungsideen?? Wenn ja,dann bitte anständige Ideen. Der Prof. überlet auch schon die ganze Zeit aber es soll was vernünftiges sein.
Götterwind
Commander
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Re: Mikroskop erlaubt Einblick in die Nanowelt
Hallihallöle Lasergott!
Erstmal, Doppelposts - du weist schon ...
Dann Linsen, @ 13nm ? Generell sollte man tunlichst transmitive Bauelemente (bis auf Kristalle, L/2-Platten usw.) vermeiden - Absorption und bei hohen Leistungen der optische Kerr-Effekt (self-foc.) werden dir schöne Kanäle/Löcher erzeugt - andere nichtlineare Effekte ganz zu schweigen. Die Spiegel, die du beschrieben hast, sind an sich nix neues - haben dummerweise nur ca. 70% Reflexionsvermögen @ 13nm. Die werden also nicht lange bei hohen Intensitäten überleben. Ich habe mich schon etwas mit nem "alten" EUV-Projekt bei mir am Institut beschäftigt (Wasser-droplets für O5+).
30nm Strukturbreite sind auch so keine Hürde - man nehme einfach Ionenstrahllitographie.
Nochmal zu Phillips : Gibt es dazu ein Paper? Würde mich mal interessieren, wie die ihre Quelle genau machen wollen. Vielleicht kannst du aber es mir sagen. Keine Angst, ich bin im achten Semester und studiere Physik. Noch baue ich mit einem Kommilitonen einen Auto-Korrelator zur Diagnose für das dortige TW-System.
Ach so, ich wette, ihr habt einen Oszillator bekommen, oder?! Mit dem allein kann man erstmal nicht viel anstellen. Er bringt zwar so Pulse um 20fs @ 80 MHz Rep.-Rate, hat aber kaum Ausgangsleistung.
Also Pulse-picker nachschalten und loslegen mit Verstärken (Regen, Multipass), was man halt alles so damit macht... Mit table-top-design meint man in der Regel so vielleicht 15m² Fläche. Richtig große Lasersysteme habe ich bis jetzt nur auf Fotos gesehen. Die haben allerdings gigantische Ausmaße - wirklich!
Hallihallöle Lasergott!
Erstmal, Doppelposts - du weist schon ...
Dann Linsen, @ 13nm ? Generell sollte man tunlichst transmitive Bauelemente (bis auf Kristalle, L/2-Platten usw.) vermeiden - Absorption und bei hohen Leistungen der optische Kerr-Effekt (self-foc.) werden dir schöne Kanäle/Löcher erzeugt - andere nichtlineare Effekte ganz zu schweigen. Die Spiegel, die du beschrieben hast, sind an sich nix neues - haben dummerweise nur ca. 70% Reflexionsvermögen @ 13nm. Die werden also nicht lange bei hohen Intensitäten überleben. Ich habe mich schon etwas mit nem "alten" EUV-Projekt bei mir am Institut beschäftigt (Wasser-droplets für O5+).
30nm Strukturbreite sind auch so keine Hürde - man nehme einfach Ionenstrahllitographie.
Nochmal zu Phillips : Gibt es dazu ein Paper? Würde mich mal interessieren, wie die ihre Quelle genau machen wollen. Vielleicht kannst du aber es mir sagen. Keine Angst, ich bin im achten Semester und studiere Physik. Noch baue ich mit einem Kommilitonen einen Auto-Korrelator zur Diagnose für das dortige TW-System.
Ach so, ich wette, ihr habt einen Oszillator bekommen, oder?! Mit dem allein kann man erstmal nicht viel anstellen. Er bringt zwar so Pulse um 20fs @ 80 MHz Rep.-Rate, hat aber kaum Ausgangsleistung.
Also Pulse-picker nachschalten und loslegen mit Verstärken (Regen, Multipass), was man halt alles so damit macht... Mit table-top-design meint man in der Regel so vielleicht 15m² Fläche. Richtig große Lasersysteme habe ich bis jetzt nur auf Fotos gesehen. Die haben allerdings gigantische Ausmaße - wirklich!
G
Green Mamba
Gast
Re: Mikroskop erlaubt Einblick in die Nanowelt
Hab mal einen eigenen Thread draus gemacht, hatte ja nicht mehr viel mit dem Mikroskop zu zun.
Hier könnt ihr euch jetzt austoben, ist auf jedenfall interessant zu lesen!
Hab mal einen eigenen Thread draus gemacht, hatte ja nicht mehr viel mit dem Mikroskop zu zun.
Hier könnt ihr euch jetzt austoben, ist auf jedenfall interessant zu lesen!
Götterwind
Commander
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Re: Mikroskop erlaubt Einblick in die Nanowelt
ja, hatte ich auch irgendwie befürchtet. Naja, es geht immer noch um kurzwelliges Licht. Notfalls kann man noch ein Mikroskop damit basteln (hohes Auflösungsvermögen, dank kurzer Wellenlänge) ...
ja, hatte ich auch irgendwie befürchtet. Naja, es geht immer noch um kurzwelliges Licht. Notfalls kann man noch ein Mikroskop damit basteln (hohes Auflösungsvermögen, dank kurzer Wellenlänge) ...
