CBLeser54
Cadet 4th Year
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Aufpassen, Russland bzw. die damalige Sowjetunion hätte das Know-how, da aber mit dem Zerfallen des Ostblocks die Sanktionen beendet wurden hat man dann auf westliche Chips gesetzt. Nun sieht es wieder anders aus. Die Sowjetunion hatte Zugriff auf Belichtungstechnik aus Jena und Jena hat auch heute noch die Fähigkeit diese Belichtungstechnik weiter zu entwickeln und hat die Patente. Warum gibt Deutschland diese auf und macht selbst weiter. Auch die Amerikaner, Niederlande und Taiwan arbeiten teilweise mit diesen Patenten. Deutschland sollte klug werden und dies nutzen in positiven und negativen Sinne.Rickmer schrieb:Hier wäre ich sehr neugierig, was die für eine Lichtquelle nutzen - weil das und die verwendeten Optiken dürften maßgeblich bestimmen, wo das Limit sein wird.
Wenn ich raten sollten würde es wohl am meisten Sinn machen, ArF Laser einzusetzen. Für diese gibt es kommerzielle Lösungen sowie den ganzen Satz an Chemikalien wie Fotoresists.
Ganz viele der Techniken um an kleinere Strukturen zu gelangen sind ja mittlerweile mindestens semi-öffentlich, z.B. Verwendung von Reinwasser für Immersionslithografie, Multi-Pattering, etc...
Die notwendigen Chemikalien werden die vermutlich über China kaufen? Irgendwie glaube ich da nicht ganz, dass es da auch Eigenentwicklungen geben wird.