Hier wäre ich sehr neugierig, was die für eine Lichtquelle nutzen - weil das und die verwendeten Optiken dürften maßgeblich bestimmen, wo das Limit sein wird.
Wenn ich raten sollten würde es wohl am meisten Sinn machen, ArF Laser einzusetzen. Für diese gibt es kommerzielle Lösungen sowie den ganzen Satz an Chemikalien wie Fotoresists.
Ganz viele der Techniken um an kleinere Strukturen zu gelangen sind ja mittlerweile mindestens semi-öffentlich, z.B. Verwendung von Reinwasser für Immersionslithografie, Multi-Pattering, etc...
Die notwendigen Chemikalien werden die vermutlich über China kaufen? Irgendwie glaube ich da nicht ganz, dass es da auch Eigenentwicklungen geben wird.