ASML: 10 EUV-Systeme für die Chip-Fabrik der Zukunft ausgeliefert

ASML hat das Jahr 2017 nicht nur mit einem Rekordumsatz von über 9 Milliarden Euro und mehr als 2,1 Milliarden Euro Gewinn abgeschlossen, der niederländische Fabrikausrüster lieferte auch zehn EUV-Systeme aus und verspricht in diesem wichtigen Entwicklungsbereich weitere Fortschritte.

Die EUV-Serienproduktion soll 2018 beginnen

Die EUV-Lithografie steht bei allen großen Halbleiterherstellern hoch im Kurs, weshalb die Branchenriesen Intel, TSMC, Samsung, Globalfoundries und auch IBM zu den Abnehmern von ASMLs Belichtungsmaschinen gehören. Ab diesem Jahr sollen die ersten Wafer in Serie damit belichtet werden, die erweiterte respektive optimierte 7-nm-Fertigung wird dafür bei TSMC und Samsung genutzt, einige Lagen der Wafer werden dabei statt klassischer Immersionslithografie den EUV-Scanner sehen.

Ursprünglich hatte ASML zu diesem Zweck sogar die Auslieferung von 12 EUV-Scannern für das Jahr 2017 geplant. Zehn wurden verbucht, eine weitere Maschine ist derzeit in der Auslieferung und die ursprünglich geplante zwölfte Einheit soll noch im Januar verschickt werden – beide zählen dann aber in das Jahr 2018. Noch 28 Scanner hat ASML in den Auftragsbüchern und erwartet in diesem Jahr viele weitere mehr, denn insgesamt 22 Einheiten will der Hersteller in diesem Jahr liefern, ab kommendem Jahr mindestens 30 Stück. Dann soll die Serienproduktion an multiplen Standorten richtig starten.

120 Wph und 90 Prozent Verfügbarkeit als Ziel

Um mehr Kundschaft für die neuen, teuren Scanner von rund 110 Millionen Euro pro Stück zu begeistern, wird weiter an der Technik gefeilt. Der Durchsatz soll stabil auf über 125 Wafer pro Stunde gesteigert werden, gleichzeitig die Verfügbarkeit der Geräte über 90 Prozent gehievt werden. Gerade der letzte Punkt erwies sich zuletzt als schwierig, viele Geräte hatten in den Testläufen Probleme die 80-Prozent-Marke zu erreichen. Doch auch dort macht ASML mit den Partnern in den Fabriken stetig Fortschritte und will dies auch weiter so handhaben, denn selbst wenn die Auslieferungen deutlich ansteigen, soll der Support stetig gewährleistet sein, betont ASML im Geschäftsbericht.