ASML : Vier EUV-Systeme für Foundry und Speicherhersteller

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ASML: Vier EUV-Systeme für Foundry und Speicherhersteller
Bild: ASML

ASML hat heute bekannt gegeben, dass eine Foundry und Speicherhersteller vier zusätzliche EUV-Systeme bestellt haben, um diese in Zukunft in der Serienproduktion einzusetzen. Für das zweite Halbjahr stellt ASML zusätzliche Bestellungen in Aussicht.

Die ersten EUV-Systeme der Generation NXE:3350B tragen bereits jetzt zum Umsatz bei, eine wurde im ersten Quartal und eine weitere im zweiten Quartal ausgeliefert. Das Ziel für dieses Jahr liegt bei sechs bis sieben dieser NXE-Geräte. Bei noch zehn auszuliefernden Maschinen dieses Typs mit einem Gesamtwert von einer Milliarde Euro erwartet der Fabrikausrüster aller großen Hersteller zusätzliche Bestellungen in den kommenden Monaten. Spätestens jetzt wird auch bei den verbliebenen Herstellern, die bisher keine größeren Anstalten in dieser Richtung unternommen haben, erkennbar, dass der EUV-Zug nun wirklich nicht mehr zu stoppen ist.

Was einzig und allein bleibt ist die Frage des Starts in der Serienfertigung, dieser steht noch in der Schwebe. ASML bringt gern die 10- oder 7-nm-Fertigung ins Spiel. TSMC ließ dagegen in der letzten Woche offiziell verlauten, dass zwar mit 7 nm und EUV-Lithografie weiter experimentiert und die Serienfertigung vorbereitet werde, sie aber erst bei 5 nm groß zum Einsatz komme. Bei Speicherherstellern weht der Wind jedoch ein wenig anders, dort wird so schnell keine 7- oder 5-nm-Fertigung angepeilt. Deshalb könnte EUV wirklich bereits bei 10 nm zum Einsatz kommen, wie ASML erneut im Frühjahr auf einer Konferenz betonte.

Zeitplan für High Volume Manufacturing (HVM)
Zeitplan für High Volume Manufacturing (HVM) (Bild: ASML)

ASML verkündet dabei, dass an allen Fronten Fortschritte gemacht worden seien. Bei einem Foundry-Partner wurden mit einer der aktuellen NXE:3350B über 1.200 Wafer pro Tag belichtet, im eigenen Haus ist ASML dem selbstgesteckten Ziel von 1.500 Wafern pro Tag (WpD) mit 1.488 WpD bereits sehr nahe gekommen. Verbessert wurde auch das Drumherum, allen voran die Verfügbarkeit der Geräte neben der planmäßigen Wartung. An fünf verschiedenen Standorten wurde eine Einsatzbereitschaft von über 80 Prozent erreicht, allerdings ist dieser Wert noch nicht konstant genug und soll in Zukunft noch gesteigert werden.

Solides zweites Quartal, gute Aussichten

Das zweite Quartal schloss ASML mit gemischten Zahlen ab. Während der Umsatz leicht von 1,654 auf 1,740 Milliarden Euro stieg, ging der Gewinn im Vergleich zum Vorjahr von 369,7 auf 353,8 Millionen Euro zurück. Für das aktuelle dritte Quartal erwartet ASML ähnliche Umsätze bei leicht steigender Marge, für das Gesamtjahr gibt der Hersteller die Prognose, dass das Vorjahr übertroffen werde.