Bosch-Fabrik in Dresden: Erste Wafer gefertigt, Eröffnung im Sommer

Volker Rißka
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Bosch-Fabrik in Dresden: Erste Wafer gefertigt, Eröffnung im Sommer
Bild: Bosch

Im neuen Bosch-Halbleiterwerk in Dresden durchlaufen erstmals Silizium-Wafer vollautomatisiert die Fertigung. Dies gilt als entscheidender Schritt auf dem Weg zum Serien-Produktionsstart, den das Unternehmen für Ende 2021 plant. Die Eröffnung der Fabrik soll im Juni dieses Jahres stattfinden.

Mit der neuen Waferfabrik in Dresden erweitert Bosch seine Fertigungskapazitäten für die immer größeren Anwendungsfelder von Halbleitern und der großen Nachfrage nach Mikrochips vor allem für Autos. Rund eine Milliarde Euro investiert Bosch in die Hightech-Fertigung, die zu den modernsten Chipfabriken der Welt zählt. Gefördert wird der Neubau durch die Bundesrepublik Deutschland, das Geld kommt aus den Töpfen des Bundesministeriums für Wirtschaft und Energie.

Testphase in vollem Gange

Ein automatisierter Kurzdurchlauf erster Teile der hochkomplexen Fertigungstechnik erfolgte im November 2020, nachdem der Rohbau bereits ein Jahr zuvor stand. Wie üblich nimmt die Ausrüstung einer Fabrik nicht nur die meiste Zeit, sondern auch das meiste Geld in Anspruch.

Seit Ende Januar 2021 durchlaufen in Dresden erste Wafer die Fertigung. Daraus fertigt Bosch Leistungshalbleiter nur für den eigenen Bedarf, die später beispielsweise in Gleichspannungs-Wandlern von Elektro- und Hybridfahrzeugen zum Einsatz kommen. Sechs Wochen sind die Wafer dafür in der Fertigung unterwegs und passieren vollautomatisiert rund 250 einzelne Arbeitsschritte. Die Mikrochip-Prototypen können nun zum ersten Mal in elektronischen Komponenten eingesetzt und getestet werden.

Ab diesem Monat startet Bosch mit den ersten Fertigungsdurchläufen von hochkomplexen integrierten Schaltungen. Dann durchlaufen die Wafer auf dem Weg zum fertigen Halbleiterchip in mehr als zehn Wochen rund 700 Prozessschritte.

Von einem einzelnen 300-mm-Wafer zieht Bosch mehrere tausend Chips, als kleinstes Verfahren wird 65 nm angestrebt – Chips für moderne CPUs, GPUs und SoCs werden von TSMC in 5 nm gefertigt. Die Vollautomatisierung der Fertigung sowie der Datenaustausch in Echtzeit zwischen den Maschinen soll die Produktion in Dresden zudem besonders effizient machen, erklärt Bosch. In der Endausbauphase sollen in der Fertigung in Dresden letztlich nur 700 Mitarbeiter arbeiten. Sie steuern sowie überwachen die Produktion und warten die Maschinen.