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NewsASML: EUV-Maschinen belichten bald 155 Wafer pro Stunde
ASML erklärt am Rande der neuen Quartalszahlen, dass ihre EUV-Belichtungssysteme stetig zuverlässiger im Serieneinsatz mit 125 Wph sind. Im kommenden Jahr werden die Scanner auf bis zu 155 Wafer pro Stunde aufgewertet – dann startet bei vielen Partnern die großflächige Serienproduktion.
Schon krass, wie schnell es plötzlich geht. Erst 7nm fertig, schon gehts mit 5nm weiter. Bin gespannt, was die zukünftigen Chips so leisten werden, vor allem die von AMD. Kann ja nur besser werden.
Aber 100 Millionen für eine Maschine... Sind schon ordentliche Zahlen. Dafür aber auch relativ viele Wafer in einer Stunde.
Denke die Forschungs- und Entwicklungskosten waren für die Teile immens.
War EUV nicht schon um die 2000er Wende geplant? Meine was gelesen haben.
Mit über 10 Jahren Verspätung. Kein großes Wunder, zumal die gewonnenen Produkte durch die Maschinen viel mehr einbringen, als diese Maschinen in der Anschaffung kosten.
Allerdings nicht, weil das nicht funktioniert hätte, sondern weil die Hersteller Tricks gefunden haben um mit den alten Lichtquellen noch länger arbeiten zu können.
@estros Naja, es geht jetzt schon vergleichsweise "schnell". EUV macht es möglich. Wie @blub1991 schrieb war es vorher ja eine Art Trickserei. Mit EUV ist jetzt erstmal wieder für ein paar Schritte "normaler" Verkleinerung gesorgt.
Allerdings nicht, weil das nicht funktioniert hätte, sondern weil die Hersteller Tricks gefunden haben um mit den alten Lichtquellen noch länger arbeiten zu können.
Nicht ganz richtig. 7nm war wirklich noch nicht so weit. Schlussendlich hatten alle Glück das es die Tricks für die alten Maschinen gab. Sonst hätte es längere Zeit einen Stillstand bei dem Fertigungswettrennen gegeben.
100 Millionen ist ja ziemlich günstig, ein voll aufgerüsteter Twinscan Immersion liegt ja auch in der Preisklasse, gut die haben viel mehr Durchsatz, aber durch die vielen Kniffe muss der wafer ja auch viel häufiger belichtet werden als bei EUV. Da wird das ganze ja wirtschaftlich jetzt.
Ich freue mich, dass es endlich wieder voran geht und der Wechsel zu EUV nun vollzogen werden kann bzw. wurde. Man stelle sich die RTX 3080 Ti in 7 nm vor, oder einen Threadripper mit 64 Kernen für 4k60 Video-Editing
Liegt vielleicht daran, dass ASML nahezu eine Monopolstellung hat, soweit ich weiß.
Arbeiten da sehr stark mit Zeiss zusammen. Und Zeiss bietet da glaube ich für EUV als einziger Systeme für die "Massen"produktion an.