Hochtechnologie: USA wollen ASML-Lieferungen an China unterbinden
Laut Medienberichten unternimmt die US-Regierung einen neuen Anlauf, um High-End-Chip-Fertigungstechnologie von ASML von China fernzuhalten. Dabei geht es nicht um die EUV-Belichtungssysteme, sondern die in der breiten Massen benötigten DUV-Scanner, die das Rückgrat jeder Wafer-Belichtung darstellen.
DUV-Systeme im Fokus
Über 250 dieser DUV-Systeme (deep ultraviolet) verkauft ASML pro Jahr, mehr als das Fünffache gegenüber EUV-Belichtungsmaschinen. Während EUV-Scanner erst bei kleinsten Strukturen benötigt werden, bedient DUV einen Großteil der Nanometer-Klassen darüber und das auch noch in jedem Bereich. Bis zum Jahr 2025 soll die Produktion von DUV-Systemen bei ASML auf 375 Einheiten im Jahr ausgebaut werden, in der Prognose dürfte bisher auch China enthalten sein.
-
ASML liefert Geräte für alle Fertigungsstufen (Bild: ASML)
Für 28-nm-Chips reicht DUV
Denn China nimmt viel Geld in die Hand, um den Halbleitersektor konkurrenzfähig zu machen. Zuletzt war von erneut rund 45 Milliarden US-Dollar die Rede, um im DRAM-Markt mitzumischen. Hier wird primär noch DUV genutzt, erst ganz langsam steigen die drei nicht in China beheimateten Branchenriesen Samsung, Micron und SK Hynix auf EUV für bestimmte Belichtungsschritte um.
Ohne die Technologie aus den Niederlanden geht aber auch in Chinas Fabriken nicht viel. Bisher waren die weniger ausgefeilten DUV-Systeme teilweise ausgenommen von den Handelsbeschränkungen der USA, weshalb China weiterhin neue Fabriken bauen und sie für Fertigungsstufen in 28 nm bis hinab zu 14 nm ausrüsten konnte. Im Frühjahr gab es zudem das Gerücht, die Volksrepublik würde eine Art Chip-Plattform schaffen, in die sich westliche Hersteller einbringen. Wer mit China Geschäfte machen will, soll sich auch im Land einbringen, hieß es bei Analysten. Auch damals wurde aber bereits vermutet, dass es primär ein Weg sein sollte, aktuell verbotene Hochtechnologie über Umwege wieder in das Land zu bekommen.
ASML gibt sich derweil diplomatisch. Man kommentiere Spekulationen oder Gerüchte nicht, handfeste Ankündigungen gebe es in dem Bereich nicht, heißt es. Auch von Nikon, ein vergleichsweise kleines Licht in Bereich der Belichtungssysteme im Weltmarkt, gab es den Kommentar, dass es nichts zu kommentieren gibt. Ob die Bitte des US-Handelsministeriums an die Niederländische Regierung letztlich von ASML auch umgesetzt wird, bleibt abzuwarten.