@mkossmann AFAIK ist Canon bei der Lithographie nicht mehr dabei. Es ist außer ASML nur noch Nikon.
Es gab immer viel Wirbel um Nanoimprint aber außer Systeme für die Forschung ist mir nichts bekannt. Und ob und wie gut die funktionieren weiss ich auch nicht.
Nikon hat letztes Jahr so wie ich höre kein einziges System verkauft und hat deshalb beschlossen bis 2030 neue DUV Scanner zu entwickeln, die mit ASLM kompatibel sind.
AFAIU geht es darum dass die Positionierung der Masken. Wenn man mit einige Masken mit ASLM und einige Masken mit Nikon belichtet, ist die erreichbare Genauigkeit bei der Positionierung geringer als, wenn man alle Masken mit nur mit ASML belichtet.
Es gab immer viel Wirbel um Nanoimprint aber außer Systeme für die Forschung ist mir nichts bekannt. Und ob und wie gut die funktionieren weiss ich auch nicht.
Nikon hat letztes Jahr so wie ich höre kein einziges System verkauft und hat deshalb beschlossen bis 2030 neue DUV Scanner zu entwickeln, die mit ASLM kompatibel sind.
AFAIU geht es darum dass die Positionierung der Masken. Wenn man mit einige Masken mit ASLM und einige Masken mit Nikon belichtet, ist die erreichbare Genauigkeit bei der Positionierung geringer als, wenn man alle Masken mit nur mit ASML belichtet.
