@ illegalz: du hast einen Siliciumwafer auf dem zum einen deine gewünschte Schicht ist (z.B. ein Oxid, eine Metallschicht o.ä.) und darauf ein strahlungsempfindlicher Lack. Mit Licht kann dieser Lack nun löslich gemacht werden. Damit man nicht einfach die gesamte Schicht ablöst, werden nur einzelne Bereiche belichtet. Das geschicht mit einer Fotomaske, die an manchen Stellen transparent und an anderen undurchsichtig ist. Dabei sind auf dieser Maske eben zig Millionen Strukturen, die bei einem einzigen Belichtungsvorgang in die Lackschicht übertragen werden.
Nach dem Belichten wird dann der lösliche Teil des Lacks mit Chemikalien entfernt, so dass hier deine darunter liegende Schicht freiliegt. Diese Schicht wird nun wiederum mit Chemikalien o.ä. bis zum Siliciumwafer darunter weggeätzt. Der Lack, der nicht belichtet wurde, schützt das Oxid an den anderen Stellen.
Anschließend wird der Lack entfernt und du hast deine Fotomaske in die Oxidschicht übertragen. Durch viele Wiederholungen dieser Schritte (Schicht + Lack aufbringen, Lack belichten und lösliche Bereiche entfernen, in die darunter liegende Schicht übertragen) baut man die Transistoren - oder was auch immer man gerne haben will - Schicht für Schicht auf.
Wie kommen aber die ursprünglichen Strukturen auf die Fotomaske? Ganz ähnlich: man hat eine Glasscheibe auf der sich eine Chromschicht befindet (diese ist Licht undurchlässig) und darauf wieder einen Lack. Dieser Lack wird jetzt mit einem Elektronen- oder Laserstrahl abgerastert (Zeile für Zeile, quasi so, wie der Elektronenstrahl in einem Röhrenfernseher über den Bildschirm wandert. Nur dass es hier mehrere Stunden für eine ca. 12×12 cm große Maske dauert) und belichtet, und dadurch - analog wie oben - löslich. Der lösliche Lack wird entfernt, die stehengebliebenen Strukturen maskieren das Chrom darunter und die Lack freien Chrombereiche werden weggeätzt. Der Lack wird entfernt und man erhält eine Maske, die an einigen Stellen nur aus blankem Glas besteht und an anderen aus Glas mit Licht undurchlässigem Chrom.