EUV-Lithografie: ASML liefert 100. EUV-Belichtungssystem aus

Volker Rißka
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EUV-Lithografie: ASML liefert 100. EUV-Belichtungssystem aus
Bild: Cargolux

Weiterer Meilenstein für EUV: ASML feierte die 100. Auslieferung eines EUV-Systems, welches mit einer 747-8(F) nach Asien gebracht wurde. Das knapp 150 Millionen Euro teure System wurde dabei auf mehrere Container aufgeteilt, die exakt für das Flugzeug zugeschnitten sind, vor Ort werden sie in der Fabrik dann zusammengefügt.

EUV-System für TSMC oder Samsung

Den Kunden nennt ASML nicht, in Asien kommen aber letztlich nur zwei Kandidaten in Frage: TSMC oder Samsung. Beide Firmen stocken ihre EUV-Systeme in Zukunft weiter auf, um die fortschrittlichste Fertigung bieten zu können.

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