Notiz Auftragsfertiger: TSMC bekommt 55 EUV-Scanner bis Ende 2021

[dynastes]

Für jemanden, der sich nicht besonders gut damit auskennt, wirkt es schon heftig, dass ASML mit einer solchen Belegschaftsgröße "nur" so "wenige" Maschinen pro Jahr produzieren kann. Da kann man sich gut vorstellen, wie unglaublich aufwendig und teuer die Produktion sein muss.

 

[Spandi]

Eine Maschine 180Tonnen Hightech @dynastes. Es ist auch viel Forschung dabei und es werden nicht nur EUV Scanner hergestellt.

Mehr als 100.000 Einzelteile hat so eine fertige Maschine, die so groß wie ein Bus ist und an die dann noch das ähnlich große Lasermodul gekoppelt wird.

Die Spiegel alleine sind heftig.

Glaskeramikblöcken gefertigte Spiegel zum Einsatz. Diese lenken das Licht um und bündeln es. Der Prozess läuft im Vakuum ab. Jeder Spiegel wird dazu wochenlang auf Spezialmaschinen immer wieder geglättet, vermessen und poliert. Am Ende ist so ein tonnenschweres Optiksystem dann einen gut zweistelligen Millionenbetrag wert.

Auch Interessant:
https://www.zeit.de/2019/25/mikrotechnologie-weltmarktfuehrer-unternehmen-lasertechnik-asml

 

[Alpha.Male]

Zwei Fragen dazu:
1) Warum widersprechen sich Titel und Inhalt? TSMC "bekommt" doch keine 55 Scanner, sie stockenauf 55 Scanner auf. Stand heute "bekommen" sie noch ca. 25, weil sie ja von 30 auf 55 aufstocken. Ich dachte bei der Überschrift erst "wow, ASML kann aber krass viele Geräte fertigen, nachdem dieses Jahr 35 Systeme in der Produktion geplant waren".
2) Es klingt zwar gut, dass sie "weiterhin" von ASML die Belichtungssysteme beziehen, aber gibt es denn überhaupt einen anderen Hersteller?

Ja, dasselbe dachte ich auch. Die Schlagzeile ist bissel unglücklich da formuliert

 

[andi_sco]

weiterhin beim niederländischen Fabrikausrüster ASML decken

Gibt es denn überhaupt irgendeine Alternative? Canon und Nikon haben sich doch auch schon zurück gezogen

Ergänzung (28. September 2020)

auch da wäre die Aussage falsch, denn er behauptet es gibt andere Hersteller (Nikon) um dann zu sagen, dass Nikon es nicht kann

Nu leg doch nicht alles auf die Goldwaage. Die anderen 99% haben es ja verstanden

 

[Spandi]

Gibt es denn überhaupt irgendeine Alternative? Canon und Nikon haben sich doch auch schon zurück gezogen?

nein, gibt es nicht.
ASML dürfte aktuell so 90% des Highendmarktes abdecken.
Bis 7nm geht es noch irgendwie ohne EUV.

Nicht zurückgezogen, aber wollten halt nicht zig Milliarden in Forschung investieren.
Distruptive Technologien, viel Geld ohne zu wissen ob es klappt.. Da muss man sich schon sicher sein und sich was trauen.
Jetzt noch einzusteigen, mit zig Jahren Forschungsarbeit und Milliarden für Entwicklung lohnt auch nicht mehr.
(wenn auch sicherlich einige Komponenten entwickelt zugekauft werden könnten)

Ergänzung (28. September 2020)

Nu leg doch nicht alles auf die Goldwaage. Die anderen 99% haben es ja verstanden

Ich hab es erwähnt, weil es (meiner Logik nach so) nicht passte.. Darf man also nicht sagen wenn etwas nicht passt, weil man dann spitzfindig und goldwagenbesitzer ist?!

Da fand ich die 55 EUV Scanner bis Ende 2021 richtiger in der Überschrift.
Und genauer wird es dann im Text erklärt.

 

[andi_sco]

China wird dann versuchen dort Technologieführer zu werden

Das sehe ich im nächsten Jahrzehnt aber noch nicht.
Nicht mal wegen Unfähigkeit, sondern weil die Technik ungemein komplex ist.

Ich hab es erwähnt, weil es nicht passte..

Alles gut

 

[dynastes]

Eine Maschine 180Tonnen Hightech @dynastes. Es ist auch viel Forschung dabei und es werden nicht nur EUV Scanner hergestellt.
Die Spiegel alleine sind heftig.
Auch Interessant:
https://www.zeit.de/2019/25/mikrotechnologie-weltmarktfuehrer-unternehmen-lasertechnik-asml

Danke für die Hintergrundinformationen! Beim Begriff "Scanner" denkt man (oder zumindest denke ich) irgendwie nicht an derartige Monumentalbauten
Da macht der "geringe" Output direkt deutlich mehr Sinn. Umso größer ist TSMCs Vorteil, bereits so viele dieser Maschinen zu besitzen. Samsung hin oder her, die Taiwaner laufen dem Rest des Feldes schon ganz schön weg.

 

[Spandi]

Das sehe ich im nächsten Jahrzehnt aber noch nicht.
Nicht mal wegen Unfähigkeit, sondern weil die Technik ungemein komplex ist.

Richtig, erst ab 2030 dürfte EUV Nachfolger gebraucht werden.
Geforscht wird auch jetzt schon und wenn es nur theoretischer Natur ist ohne konkreten Plan. Leider ist mein Kopf ein Sieb und ich hab das meiste vergessen, was ich dazu mal ergoogelt und gelesen hatte.. (EUV China, Rest der Welt, Alternativen, Ausblick etc.)

 

[-Ps-Y-cO-]

Zwei Alternativen zu ASML sind KLA Tencor
und LAM Research.

 

[Spandi]

Zwei Alternativen zu ASML sind KLA Tencor
und LAM Research.

für was genau? KLA-Tencor hatte ein EUV Inspection Tool entwickelt, aber sich dann teils daraus zurückgezogen oder so?!
(2015) "KLA-Tencor cuts back EUV investment"
https://optics.org/news/6/4/35

Das ist ja wenn dann eher was ergänzendes und nicht konkurrierendes.

Und auch LAM hat eher ne ergänzende Partnerschaft in Bereichen und nicht EUV Scanner Konkurrenz.

ASML selber macht ja nur nen kleinen Teil der EUV-Scanner selbst, da wird viel zugeliefert etc. Konkurreten in EUV-Scannern gibt es aber nicht. Denk mal bis mind. 2030 dürfte ASML der TopDog bei Scannern bleiben.

 

[SoftMaxx]

Nur dass in der Überschrift vom Artikel EUV steht.. im Artikel EUV steht.. der User von EUV redet und dass es nicht stimmt mit 55..
Und dann kommt jemand daher und sagt, "ja es gibt andere", um es dann direkt zu verneinen.
Finde nicht dass das spitzfindig ist.
[...]

Vergiss es einfach, es ist auch zu belanglos, dass es die Zeit wert wäre, zu erklären, weshalb besagte Antwort/Aussage eben doch einen Sinn hat...

 

[malajo]

Ja es gibt andere Hersteller wie Nikon, diese können aber keine EUV Scanner Herstellern....

die können nicht mal richtig funktionierende Immersionsscanner bauen...

 

[Spandi]

die können nicht mal richtig funktionierende Immersionsscanner bauen...

links? mehr infos?
hab nix zu DUV Problemen bei Nikon gefunden.

Aber ASML führt auch DUV mit 88% Marktanteil an.

ASML is the only supplier of EUV, but also sells i-line, KrF, ArF, and ArF immersion systems
Canon sells i-line and KrF systems, and Nikon sells i-line, KrF, ArF, and ArF immersion systems. Nikon does not sell EUV systems, and instead uses its immersion DUV system for sub-10nm devices

Canon also does not sell an EUV system (nor a DUV system for that matter) and instead is developing an imprint lithography system for smaller nodes.

🤔interessant

2019, EUV revenues were 31.9% of overall lithography system revenues, up from 23.7% in 2018, 17.7% in 2017 and 7.2% in 2016.

Auch interessant, wie neuere ASML Maschinen teurer werden..

During the period 2017-2022, ASPs of EUV systems are expected to increase from €99 million to €145 million, as ASML transitions to newer generations with greater capability and throughput, thereby reducing cost per pixel.

Ergänzung (28. September 2020)

Zwei Alternativen zu ASML sind KLA Tencor
und LAM Research.

info zu was KLA Tencor macht z.B. und wo ASML nicht gut aufgestellt ist, aber beim Überprüfen der Wafer ist KLA Tencor tatsächlich in Konkurrenz zu ASML^^

Monopoly in Metrology/Inspection

Metrology/inspection equipment is supposed to spot semiconductor manufacturing errors. Metrology and inspection are important for the management of the semiconductor manufacturing process. There are 400-600 steps in the overall manufacturing process of semiconductor wafers, which are undertaken in the course of one to two months. If any defects occur early on in the process, all the work undertaken in the subsequent time-consuming steps will be wasted.


Metrology and inspection processes are therefore established at critical points of semiconductor manufacturing process to ensure that a certain yield can be confirmed and maintained.


The Information Network’s report “Metrology, Inspection, and Process Control in VLSI Manufacturing report,” analyzes 25 different sectors and subsectors of the metrology/inspection market. ASML competes in just one – E-beam Patterned Wafer Inspection. As a result, ASML held just a 5% share of the global metrology/inspection market dominated by KLA (KLAC).

 

[Spandi]

Nikon dürfte sich bis 2029 indirekt freuen über hohen Umsatz bei ASML

https://www.anandtech.com/show/1390...tle-legal-disputes-over-immersion-lithography

 

[RAZORLIGHT]

Bin ich der einzige der die Überschrift etwas missverständlich findet?
Für mich klingt das als würde TSMC 55 EUV Scanner im Jahr 2021 bekommen und nicht 25 wie es im Artikel erläutert wird...

 

[Spandi]

Für mich klingt das als würde TSMC 55 EUV Scanner im Jahr 2021 bekommen und nicht 25 wie es im Artikel erläutert wird...

jein, da es ein laufender Prozess ist, aber auch jein, da man es hätte klarer Ausdrücken können.

 

[SKu]

@Volker
Was kostet so ein EUV-Scanner nach Liste?

 

[Spandi]

Was kostet so ein EUV-Scanner nach Liste?

s.o. ohne mögliche Rabatte.

During the period 2017-2022, ASPs of EUV systems are expected to increase from €99 million to €145 million, as ASML transitions to newer generations with greater capability and throughput, thereby reducing cost per pixel.

 

[SKu]

s.o. ohne mögliche Rabatte.

145 Millionen € für eine Anlage?

 

[Spandi]

145 Millionen € für eine Anlage?

aktuell evtl. 120kk€ ?! aber ja, sowas um den Dreh rum.
je nach weiterer Ausbaustufe (bis 2022) steigt der Preis.