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Anfänge der Photolithografie in der Halbleitertechnik
hoi, also ich bin jetzt schon seid einiger zeit auf der suche nach einer quelle, die mir die anfänge der Photolithografie beschreibt. ich möchte wissen wann und von wem das ganze zum ersten mal eingesetzt wurde um mikrochips herzustellen.
das einzige was ich gefunden habe ist wann der erste chip auftauchte, aber nichts zur photoligraphi bei halbleitern.
