News ASML: Mit EUV- und 10-nm-Ausrüstung ins neue Jahr

[Volker]

Der niederländische Fabrikausrüster ASML hat das Jahr 2015 mit Rekordumsatz und guten Gewinnen abgeschlossen. Für die nahe Zukunft steht neben der Lieferung der Ausrüstung für 10-nm-Chips weiterhin EUV auf dem Programm, bei dem die Ausbeute und die Verfügbarkeit weiter gesteigert werden muss.

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[TenDance]

Das hätte man sich vor den broadwells auch nicht träumen lassen dass Intel mal seinen Vorsprung in der Fertigungstechnik verliert.
Zeitweilig waren sie der Konkurrenz ja schon fast zwei Generationen voraus.
Aber gut für uns, TSMC und Samsung stellen ihre Kapazitäten ja weitaus mehr Auftraggebern zur Verfügung als Intel.

 

[xbasti07x]

Also soweit ich weiß hat die Angabe der nm schon lange nichts mehr mit dem wirklichen Prozess zu tun. Zumindest laut aussage von Intel sind sie den restlichen Fertigen im gleichen Prozess (14nm) immer noch deutlich vorraus.

 

[flo36]

Man kann nun auch sagen, dass mit ASML quasi ein Monopolist den Markt beherrscht, da man von der Konkurrenz nicht all zu viel hört und dieser mehr oder weniger auch künstlich verzögern kann.
Jedoch zeigt hier vermutlich eher die Physik die Grenzen auf.
Wer jedoch nun diese Fertigung zuerst einsetzt dürfte relativ egal sein, da keiner damit in die Massenproduktion starten wird. Das braucht alles Zeit wie man aus div. News hier immer gut entnehmen kann.

Wir werden also irgendwann rund um 2020 die ersten CPUs mit EUV sehen.
Bis dahin werden wir dann eben weniger neue Fertigungsstraßen sondern mehr Optimierungen der Prozesse sehen.

 

[Morrich]

Muss man eigentlich in einem solchen Artikel unbedingt "Denglisch" schreiben?

Gleich in einem Satz einmal von "Tools" und danach von "Werkzeugen" zu schreiben, ist einfach haarsträubend!

 

[Hakubaku]

10 nm sind nicht 10 nm, das ist eher Marketing blabla ^^ die wirkliche Strukturgröße wird so bei 18-22 nm liegen (ins blaue geraten, genau wissen tue ich es nicht). Aber wie so häufig ist es ja Betrachtungssache, wo ein Prozess angekommen ist. Rein Abhängig von der Definition (1/e² Laserstrahlintensität, 1/e Amplitude, max. Ablationstiefe usw/usf).

 

[Smartbomb]

War nicht erst vor Monaten eine Folie auf CB, wo die 14nm Prozesse von Intel, TSMC, Samsung usw verglichen wurden?
Da gibts Kenngrößen wie Pitch Abstand, Pitch to Gate Abstand usw usf.
Die Zahlen bewegten sich zwischen ~45 und ~90nm!!
Für einen 14nm Prozess!
Bei Intel waren die Zahlen knapp am niedrigsten, was ich mich erinnere.

MfG

 

[Candy_Cloud]

ASML hat wirklich kaum Konkurrenz auf dem Markt.

Es ist lange her da war Canon noch mit dabei. Es gibt auch noch Einsatzgebiete wo heute noch auf kleineren Wafern (150mm meistens) mit Canon Belichtern eine Proximitybelichtung gefahren wird. Eignet sich allerdings eher für Strukturen im µ Bereich.

Es ist in der Tat so, dass die kleinsten möglichen Strukturen eben auf z.B. 14nm bei Intel gefallen sind. Die Realisierung der Schaltungen von Layoutern jedoch oft ausgedehnt werden müssen, da man Probleme bei der Integration bekommt. Und da man eben lieber ein Produkt auf den Markt knallen will als 100% Integration zu erreichen, kommen dann Chips auf den Markt die der Technologie hinterher hängen. Darum haben die Grafikchips auch so lange 28nm genutzt. Man konnte die neuen Chips nicht schnell genug einem anderen Prozess anpassen welcher womöglich Strom gespart hätte. Da aber der Druck vom Kunden, Energie zu sparen sehr gering ist hat man lieber schneller neue Chips gedrückt als sinnvoll zu hoher technischer Reife zu gelangen.

Daher werden auch die sehr teuren Belichter nicht bringen, wenn die Chips nicht sauber im Layout sind.

 

[Austrokraftwerk]

Und was kommt nach 2020 mit EUV 5nm?

 

[[F]L4SH]

Kein weiter Silicium Node mehr, würde ich tippen - ich halte die 5nm schon für sehr optimistisch und Intel selbst hat man erwähnt, dass der Schritt sich vielleicht überhaupt nicht mehr lohnt, weil man kaum noch was gewinnen kann, die Probleme am Rande der Physik abnorm steigen und die Kosten explodieren.

Niemand weiß bisher, was direkt danach kommt.
Ins Blaue geraden, denke ich persönlich, dass man dann den letzten existierenden Node etwas optimieren wird, dann geht man in die Breite und vergrößert Dies wieder und wird noch etwas stapeln. Vielleicht gehen die ganz Großen dann auf Germanium, weil man mit bestehender Infrastruktur noch ein bisschen was rausholen kann und ein bisschen bessere Eigenschaften erreicht.
Dann muss man hoffen, dass es irgendwer schafft, aus Graphen brauchbare Schaltungen für digitale Aufgaben zu bauen, die man dann im Bereich von einigen zwei- bis dreistelligen ghz Takten kann. Und vielleicht schafft man es ja auch für Rechenzentren etwas sinnvolles aus Quantencomputern zu machen, mit denen man auch tatsächlich rechnen kann.

Interessant wird es allemal, aber wenn sich keine der Techniken, die in Moment auf dem Schirm sind, als nutzbar erweisen, wird die ganze Industrie zunächst stagnieren und dann in eine gigantische Depression verfallen, die nahezu jeden Fertiger und Entwickler innerhalb weniger Jahre in den Bankrott treiben würde, weil es keine sinnvollen neuen Chips mehr gäbe. Hinter dem Kulissen fürchtet sich Intel sicherlich sehr davor.

 

[radoxx]

An dieser Stelle ist für manche vllt interessant, dass die EUV-Belichtungsoptik von der Carl Zeiss AG gefertigt werden.
Die große Herausforderung ist hier die Fertigung eines Spiegelsystems, dass das Licht immer weiter bündelt und die Tatsache, dass selbst Luft so kurzwellige Strahlung absorbiert.

http://www.zeiss.de/semiconductor-manufacturing-technology/de_de/produkte-loesungen/halbleiterfertigungs-optiken/lithographie-bei-13-5-nanometern-euv-.html

 

[Burki73]

Ich bin irgendwie der Meinung, das es fast egal ist, welche Fertigungstechnologie gerade mal aktuell ist. Es ändert doch wenig am Prinzip des ganzen.

Klar, es gibt grosse Fortschritte von der 130 ? nm Fertigung eines Pentium 4 zu den aktuellen Modellen, die vieleicht 10% der Fertigungstechnologie von damals benötigen.

Aber was ist daran NEU? Es ist das gleiche, nur eben kleinere Fertigungstechnologie. Fortschritte gibt es da sicher etliche.
Leistungssteierungen, Effizienz und sowas alles. Aber das ist nichts wirklich neues. Das gab es schon vor 10 Jahren etwa.
Natürlich mit weniger Leistung, höheren Stromverbrauch.

Aber was kommt in 5 oder 10 Jahren? Mittlerweile liegen wir bei vieleicht 14 nm, bald 5 nm. Aber danach?

Irgend etwas wirklich neues wird es doch mal geben, aber was in etwa?
Ich denke mal kaum, das Intel noch 20 Jahre auf der x86 Architektur rumgurkt. Alleine das einführen neuer Fertigungstechnologien kostet jedesmal Milliarden. Aber was ist nun bahnbrechend neu zwischen 32nm und 5 nm?
Die Fabs wurden 3x umgerüstet. Alles mit grossen Kosten. Neue Fertigungstechnologien hatten doch bisher nichtmal die Zeit, ihre Energieersparnis irgendwie zu "beweisen". Kaum läuft es, wird die Fertigungstechnologie wieder verkleinert. Aber so richtig neues gibt es seit 15 Jahren nicht.

 

[Triversity]

Irgend etwas wirklich neues wird es doch mal geben, aber was in etwa?

Welche Technologie sich durchsetzt, kann dir keiner verraten.
Vermutlich zuerst mal andere Materialien wie z.B. Graphen. Und danach? Eventuell optische Computer.
Quantencomputer sehe ich weniger in Privathaushalten, als in wissenschaftlichen Einrichtungen.