Notiz EUV-Lithografie: ASML liefert 100. EUV-Belichtungssystem aus

[Senvo]

@wuesty Stimmt, die gibt es ja auch noch (sind aber doch dieses Jahr aufgekauft worden, oder?)
Hat Infineon dann auch Maschinen von ASML?

 

[ogdullum]

zusammengebaut nicht einmal so groß wie ein container.

Nicht richtig gelesen?
"...wurde dabei auf mehrere Container aufgeteilt, die exakt für das Flugzeug zugeschnitten sind."

Im Prinzip ist der gesamte Jumbo voll mit der Anlage.

 

[LamaMitHut]

An diesen Maschinen werkeln die klügsten Köpfe unserer Zeit, sowas kann schon mal etwas ins Geld gehen.

 

[Autokiller677]

was kostet bitte an der maschine 150 mio euro, zusammengebaut nicht einmal so groß wie ein container. 150 mio euro? soviel kostet bei uns ein hochhaus mit 50 stockwerken in der stadt.

Größe sagt nunmal nur sehr begrenzt was über den Preis aus. Stückzahl schon eher - davon werden die wohl keine tausenden Verkaufen, und die Entwicklungskosten sind enorm.

Nur mal so als ein paar aufwändige Dinge:

• Wenn dein Transistor in der Größenordnung 5nm ist, musst du die Masken über dem Waver mit deutlich < 1nm Genauigkeit positionieren - interferometrisch kontrollierte Achspositionen, extrem hochpräzise Achsmotoren usw. lassen grüßen.
• Kohärente Strahlung in der Größenordnung kann man auch nicht einfach aus einer Röntgenröhre ziehen. Allein das Erzeugen von EUV-Strahlung über Secondary Sources und sonstiges beschäftigt wohl tausende Wissenschaftler weltweit.
• Wenn die Präzisionsanforderung so hoch ist, muss alles perfekt sein. Der Tisch auf dem der Wafer liegt darf keine kleinsten Unebenheiten haben, kein Milligrad schief stehen oder sonstwas. Die Spiegel für die Strahlung müssen ebenfalls extrem präzise sein usw.
• Und dann muss das ganze auch noch so gebaut sein, dass du es problemlos Teil-Demontieren kannst, mit einem Flugzeug in Turbulenzen um die Welt schickst, und am anderen Ende ohne zu extremen Aufwand wieder entsprechend kalibrieren kannst für die Inbetriebnahme.

Diese Maschinen sind tatsächlich aus jedem Winkel extrem beeindruckend, und ein Auto ist daneben quasi Spielzeug.
Auch wenn da nix fliegt, ist das vom Niveau her locker "Rocket-Science".

 

[peter.hahn]

100 Systeme a 150 Millionen ausgeliefert, echt nicht schlecht. Finde den Themenbereich auch sehr interessant.
MFG Piet

die ersten Versionen waren günstiger.
wie viel "Rabatt" TSMC, Samsung oder Intel bekommen ist auch unklar, dazu waren sie Geldgeber bei der Entwicklung.
Aber es sind in der Tat unglaubliche Zahlen, da ist ja nur der Kaufpreis ist, da kommen noch ordentlich Serviceverträge dazu (wobei das bei 100-150.000.000€, auch nicht mehr ins Gewicht fällt) sowie die ganzen Maschinen drumherum.

 

[bensen]

was kostet bitte an der maschine 150 mio euro, zusammengebaut nicht einmal so groß wie ein container. 150 mio euro? soviel kostet bei uns ein hochhaus mit 50 stockwerken in der stadt.

oder ein großer passagierjet.

Mh? Also die Zeiten wo Rohstoffe dem Großteil des Preises aus machen (das impliziert ja dein Vergleich mit der Größe) sind doch lange vorbei.
Der größte Posten ist Forschung und Entwicklung. Bei gleichzeitig geringer Stückzahl kommen dann hohe Preise bei rum.

 

[Nixdorf]

Sehr spannendes Thema, auch total abgedreht wenn man bedenkt das einfach ein ganzes Flugzeug nur mit einem "Artikel" gefüllt ist.

Nicht eins, sondern drei. Eine einzige EUV-Anlage wird in 40 Frachtcontainern ausgeliefert, die auf drei Fracht-Jumbos aufgeteilt werden.

Ergänzung (15. Dezember 2020)

Diese Maschinen sind tatsächlich aus jedem Winkel extrem beeindruckend

Auszug aus Wikipedia:

In aktuellen Vorrichtungen werden zunächst 50.000 Zinntropfen pro Sekunde erzeugt. Diese Tropfen mit einem Durchmesser von 25 Mikrometern fallen in eine Vakuumkammer, in der ihre Position mittels einer Hochgeschwindigkeitskamera gemessen wird. Jeder Tropfen wird dann zuerst von einem Laser-Vorpuls getroffen, der ihn in eine pfannkuchenartige Form bringt, um dann im folgenden Schritt mit dem Hauptpuls-Laser in Plasma umgewandelt zu werden, das EUV-Licht mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern emittiert.

Der Absatz alleine lässt einen bereits mit offenem Mund zurück.

 

[Autokiller677]

Ja, die EUV Erzeugung ist wortwörtlich eine Wissenschaft für sich. Das ist unglaublich.

 

[St3ppenWoLF]

was kostet bitte an der maschine 150 mio euro, zusammengebaut nicht einmal so groß wie ein container. 150 mio euro? soviel kostet bei uns ein hochhaus mit 50 stockwerken in der stadt.

oder ein großer passagierjet.

Liegt vielleicht daran, dass solche EUV-Belichter von ASML vermutlich zu den komplexesten Dingen auf diesem Planeten gehören

 

[[wege]mini]

der Transportpreis liegt bei weniger als 10 Cent.

So ein Flugzeug, kostet unter 1Mio Euro, wenn man es mietet.

Wir wären also bei weniger als 3 Cent, wenn man einen 150 Mio Artikel mit einem 2,99 Euro Artikel vergleicht.

des UAV

Mit den Maschinen, werden UAVs gebaut. Oder die "Gehirne" dieser Luftfahrzeuge.

Prinzipiell hast du aber mit allem Recht, was du meinst.

mfg

@VPG_Danny

Es sind am Ende nur Chips.

Wenn man 2 x A1B mit jeweils 700MW in einem "Schiff" verbaut, das Ding 2+ Milliarden Dollar kostet, das Radar alleine 2.3 MW verballert und du pro Tag auf See 2.5 Millionen rausknallst, dann ist es Champions-League, der komplexen Gebilde.

Wenn man davon anfängt, 20 Stück und mehr im Betrieb haben zu wollen, sind wir bei "Rüstung".

Natürlich ist es nicht "leicht" moderne Chips zu bauen. Es sind und bleiben aber nur Chips.

 

[VPG_Danny]

Liegt vielleicht daran, dass solche EUV-Belichter von ASML vermutlich zu den komplexesten Dingen auf diesem Planeten gehören

Dazu kommt, dass auch ASML die Teile für diese Wunderwerke nicht geschenkt bekommt. Ich habe einen Eindruck bekommen können, als sich mein Arbeitgeber (der mit dem Namen einer thüringischen Studentenstadt im Namen ) aus dem Thema EUV als Zulieferer für die Optiken in den Maschinen zurück zog und quasi den Kollegen von Zeiss diese Mammutaufgabe überließ.

Wir beliefern neben ASML aber weiterhin auch Kunden aus der Semiconductor Branche und ich habe den einen oder anderen Eindruck von dem bekommen können, was für diese Optiken nötig gewesen wäre und auch mein Arbeitgeber war nicht bereit die Investitionen zu tätigen um unsere Infrastruktur und Fertigungen auf das nötige Niveau zu bringen. Die Reinheit und Präzision, welche für alle Optik-Teile in diesen Anlagen benötigt wird kriegst du nicht beim Glasbläser nebenan. Lustiger Weise gilt genau das gleiche Spiel für die nötigen Laser, denn Laser können und tun wir auch, aber auch hier, Rückzug weil nicht ohne massive Investitionen und Um-/ Neubauten sowie horrende RnD Aufwände umsetzbar. Den Stiefel hat sich dann (unter anderem) Trumpf angezogen.

Unsere Ausgangsposition war für ein ernsthaftes konkurrieren an der Stelle leider nicht ausreichend. Wir beliefern aber weiterhin stetig für die eher klassischen (DUV etc.) Scanner verschiedene Kunden der Branche. Die "alten" Methoden sind ja nicht plötzlich aus dem Programm und auch da wird immer weiter entwickelt.

Manch einer würde wohl auch große Augen bekommen, wenn er wüsste vor wie vielen Jahren das Thema für Zulieferer bereits aktuell wurde und sich die Weichen gestellt haben. Das alles spielt in den Preis mit hinein. ASML Zaubert diese irren Kisten ja schließlich auch nicht aus dem "Nichts".

 

[Hayda Ministral]

Den Kunden nennt ASML nicht, in Asien kommen aber letztlich nur zwei Kandidaten in Frage: TSMC oder Samsung.

Ach, ist das so?

 

[peter.hahn]

Ach, ist das so?

ja ist so, bei NAND kommt aktuell kein EUV zum Einsatz.
Kann sich in der Zukunft natürlich ändern, aber ändert nichts, am aktuell nicht.

In nächster Zukunft wohl auch eher nicht, da wird auf andere Dinge gesetzt bei NAND.

 

[Hayda Ministral]

ja ist so, bei NAND kommt aktuell kein EUV zum Einsatz.
Kann sich in der Zukunft natürlich ändern

Und damit sich das ändert bräuchte man EUV-Belichter? Richtig?

 

[peter.hahn]

Und damit sich das ändert bräuchte man EUV-Belichter? Richtig?

nö, dazu braucht man deutliche Ersparnisse durch EUV.. Warum sollte man auf eine Technik setzen, die noch keine Vorteile bringt und nicht nötig ist..

Deswegen ist es ach so.

 

[wuesty]

@wuesty Stimmt, die gibt es ja auch noch (sind aber doch dieses Jahr aufgekauft worden, oder?)
Hat Infineon dann auch Maschinen von ASML?

nene infineon hat cypress gekauft

und ja wir haben ASML anlagen

 

[Senvo]

@wuesty Ach so, dann hab ich da was verwechselt

Mich würde so eine Maschine mal aus der Nähe interessieren. Die Laseranlagen von Trumpf kenne ich (bei mir in der Nähe) - aber das wars. Hat zwar null mit meinem Studiengebiet zutun, aber gut

 

[Hayda Ministral]

Warum sollte man auf eine Technik setzen, die noch keine Vorteile bringt und nicht nötig ist..

Damit man diese Technik hat wenn man sie braucht und sie Vorteile bringt, und dann nicht erst anfängt die Beschaffung anzugehen und sich an die Reihe der Wartenden hinten an zu stellen.
Ich kann weder sagen wie lange der Vorlauf dafür wäre noch ab welchem Zeitpunkt EUV zum Einsatz kommen wird. Kannst Du es?

 

[Volker]

Ach, ist das so?

Für die jetzigen in jedem Fall. TSMC hat sich fast die Jahresproduktion gesichert, Samsung ebenfalls riesig bestellt.

Kioxia wird sicher auch mal welche nehmen, aber nicht dieses Jahr und vermutlich auch kaum das nächste. Zumal Flash noch lange nicht in Serie mit EUV belichtet werden dürfte, die haben ja noch nichtmal in Serie bei DRAM begonnen, und Flash ist meist noch eine ganze Stufe hinterher.

 

[peter.hahn]

Damit man diese Technik hat wenn man sie braucht und sie Vorteile bringt, und dann nicht erst anfängt die Beschaffung anzugehen und sich an die Reihe der Wartenden hinten an zu stellen.
Ich kann weder sagen wie lange der Vorlauf dafür wäre noch ab welchem Zeitpunkt EUV zum Einsatz kommen wird. Kannst Du es?

ehm... die werden schon bestellen wenn nötig, und nicht weil du hirngespinster hast..

Ist ja nicht so dass die Maschinen nicht besser und schneller werden.... hat Gründe warum die aktuellen so viel teurer sind als die Ersten. Und ob man die gleichen Maschinen ohne weiteres für 7nm, 5nm sowie 3nm nutzen kann, das weiß ich leider nicht.

Man gibt nicht auf gut Glück 150.000.000 aus, damit man dann veraltetes auf Vorrat hat. Ist ja nicht so, dass man Fragen kann, was Lieferzeiten sind... Außerdem bietet ASML viele Stunden lange Schulungen an dazu..

Es gibt Gründe warum man für NAND aktuell kein EUV nutzt.. da wird mehr Richtung mehr Layer gegangen.. und 3D und 4D, da werden noch länger keine 3-5nm Strukturen gebraucht..