News In alten Fabriken: TSMC will EUV-Pellicles selbst produzieren

[Volker]

Die Vermeidung von Fehlern um eine höchstmögliche Ausbeute in der Chip-Fertigung zu erzielen, hat TSMC auf dem Schirm: mit Pellicles. TSMC ist bei dem Thema aber bereits ziemlich gut dabei, anders soll es bei Samsung und auch Intel aussehen. Primär arbeiten sie ohne Pellicles.

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[Bright0001]

Wäre cool, wenn man die Funktionsweise etwas näher erläutert hätte, denn weder aus dem Beitrag, noch aus dem Video, werde ich schlau. Ist das wirklich nur eine Schicht, die auf die zu beleuchtende Fläche gelegt und danach wieder weggenommen wird? Wie genau verhindert diese Probleme durch Verunreinigungen? Ob das Staubkorn nun auf dem Die oder dem Pellicle landet ist doch nicht wirklich relevant, da in beiden Fällen eine saubere Belichtung nicht mehr möglich ist, oder nicht?

Diese Schicht muss aber einiges aushalten, immer stärker werdende EUV-Laser mit nun bis zu 400 Watt und 1.000 Grad Celsius verdampfen diese sprichwörtlich in ein paar Tagen.

Das klingt so, als wäre "in ein paar Tagen" schnell - bei einem 400W Laser bzw. 1000°C würde mich ja eher wundern, was nicht innerhalb von Sekunden zu schmelzen, kochen und zu verdampfen beginnt - wenn die Sache nicht direkt in Flammen aufgeht.

Und ein kleiner Fehler:

Spoiler

schon ein kleinster kleinstes Staubkorn

 

[anexX]

10.000€ für ein hauchdünnes Stück Folie - Wow. 😦

 

[0x8100]

kleinster Staubkorn

 

[PusteBlume0815]

Versteh eigentlich nur Bahnhof aber diese extrem kleinen Strukturen überhaupt fertigen zu können ist einfach faszinierend.

 

[bensen]

Wenn man so viel Geld hat wie TSMC kann man auch auf den Nebenschauplätzen mitspielen und entrückt der Konkurrenz noch weiter...

 

[DevPandi]

da in beiden Fällen eine saubere Belichtung nicht mehr möglich ist, oder nicht?

Es ist aber halt ein Unterschied, ob du einfach nur die Folie entfernst und eine neue Folie aufziehst, oder das Staubkorn auf der Maske ist und damit ggf. die Maske vollständig zerstört wird bei der Entfernung.

Bei Kosten von 1.000.000 Aufwärts "pro" Maske bei EUV, sind solche Schutzschichten durchaus relativ günstig.

 

[Syrato]

Versteh eigentlich nur Bahnhof aber diese extrem kleinen Strukturen überhaupt fertigen zu können ist einfach faszinierend.

Es ist eine hauchdünne Membran, die Verunreinigungen von der Maske fernhält.

Stell dir ein Fenster mit Mückengitter (Pellicle) vor, welches Sonnenlicht (UV-Belichtung) durchlässt und Ungeziefer (Verunreinigung) abhält ins/an Zimmer (UEV-Maske) zu gelangen. Das Sonnenlicht ist halt ein Laser 😋.

 

[Cabranium]

Ich verstehe es leider auch nichtvso fanz. Ist diese Folie auf dem Laser, dem Die oder irgendeiner Maskenschicht zwischen den beiden dingen?

Wie stellt man sicher, dass der stsub nicht beim folienndrsuflegen unter die folie kommt?

Ich verstehe, dass es wohl in zukunft standard sein wird dies zu benutzen, aber beim rest bin ich etwas verwirrt.

 

[aivazi]

Das klingt so, als wäre "in ein paar Tagen" schnell - bei einem 400W Laser bzw. 1000°C würde mich ja eher wundern, was nicht innerhalb von Sekunden zu schmelzen, kochen und zu verdampfen beginnt - wenn die Sache nicht direkt in Flammen aufgeht.

Die Folie absorbiert schließlich kein Licht, sondern schützt vermutlich den Wafer vor dem Staub der verbrennen würde, wenn der dieses Licht abbekommt. Die Folie degradiert aber sicher, weil sie nicht 100% vom Licht durchlassen kann.

 

[Syrato]

Das "Pellicle" liegt vor, nicht auf, der Maske.

 

[Haldi]

denn weder aus dem Beitrag, noch aus dem Video, werde ich schlau.

QFT.. . Aber dank Pandi und Syrato ist mir nun klar geworden wos beim Verständnis happert.

oder das Staubkorn auf der Maske

Es ist eine hauchdünne Membran, die Verunreinigungen von der Maske fernhält.

Ich dachte immer das Pellicle schützt den Die.
Aber das schützt ja die Maske.
Wenn also ein Staubkorn auf der Maske ist und man so 2-3 defekte Waffer hätte kann man sobald man dies feststellt einfach die Maske reinigen/pellicle ersetzen.
Denn Die kann man trotzdem nicht mehr retten oder?

 

[markox]

Wenn man so viel Geld hat wie TSMC kann man auch auf den Nebenschauplätzen mitspielen und entrückt der Konkurrenz noch weiter...

Das hätte man vor Jahren auch genau so über Intel sagen können

 

[Snooty]

Die Partikel, die auf dem Pellicle liegen, befinden sich außerhalb des Schärfebereichs und werden nicht auf den Wafer projiziert.

 

[EL-Xatrix]

übertrieben vereinfacht ausgedrückt is das ne frischhaltefolie über der salatschüssel das die fliegen da nich rein kommen...
wie über mir schon korrekt angemerkt wurde dienen die pellicle dazu das da kleinere partikel nicht im focus liegen und so unschaf werden das die beim belichten nicht dargestellt werden.
werden die partikel zu groß funktioniert das dann natürlich nicht mehr.

und auf der maske ist je nach design halt teils nur nen einzelner chip oder eine kleine anzahl...wenn da ein partikel auf dem einem chip der maske ist hat dann nach dem belichter der ganze wafer diesen fehler...heißt der ganze wafer ist unter umständen schrott wenns nicht rechtzeitig auffällt. wenn man da mit sonem pellicel die möglichen fehler reduzieren kann und das nicht unnötig aufwendig ist macht man das natürlich.

aber die dünne folie muss halt bei euv ganz andere gegebenheiten aushalten wie bei den herkömlichen belichtungsverfahren...
frischhaltefolie als ersatz für ne windschutzscheibe funktioniert vermutlich auch maximal mit schrittgeschwindigkeit

 

[JeanLuc Bizarre]

Danke @die_lieben_Forenmitglieder, die das hier noch einmal erläutert haben.
Der Artikel ist wirklich sehr sehr schlecht und wirklich unverständlich geschrieben. Aber das kommt glücklicherweise auf CB extrem selten vor, von daher Schwamm drüber.

 

[Bright0001]

Ich dachte immer das Pellicle schützt den Die.
Aber das schützt ja die Maske.

Hatte es ebenfalls genau so (miss)verstanden. In meinem Fall war wahrscheinlich das Video schuld, weil die blauen Teile trotz "Mask" Aufschrift eher nach Die aussehen, und man danach die Die-Arrays zeigt, und was passiert, wenn dies oder jenes auf dem Die landet. Ich glaub ne einfache Grafik hätts verständlicher gemacht, a la
‎      📸
     |🪟| <- Pellicle
     |💜|
🟪🟪🟪💟💟💟

Die Partikel, die auf dem Pellicle liegen, befinden sich außerhalb des Schärfebereichs und werden nicht auf den Wafer projiziert.

Na wenn das stimmt, wäre das eine weitere, ziemlich wichtige Info, die im Artikel gut aufgehoben gewesen wäre.

 

[B226]

Ja das Pellicle schützt die Maske, die bei EUV reflektiv ist. Die Maske wird abgebildet und ist damit genauso im Fokus wie der Wafer auf den belichtet wird. Partikel auf einem Pellicle sind weit weg vom Fokus und werden nicht mehr scharf abgebildet. Die Membran ist bei EUV nur keine Folie sondern ein sehr dünnes spannungsarmes Schichtsystem ca. 100nm dessen Substrat vorher weggeätzt wird. Auch dieses absorbiert (wenig), aber ein Partikel darauf macht es thermisch instabil.
Ist bei EUV auch kein Laser sondern Licht eines Plasmas, dass von einem Laser angeregt wird.

 

[Syrato]

Danke @die_lieben_Forenmitglieder, die das hier noch einmal erläutert haben.
Der Artikel ist wirklich sehr sehr schlecht und wirklich unverständlich geschrieben. Aber das kommt glücklicherweise auf CB extrem selten vor, von daher Schwamm drüber.

Volker hat ein extrem grosses Wissen in diesem Bereich, er berichtet ja auch immer über diese Themen.

Volker Risska

Aber sowas hat ja jeder Mensch. Man merkt es gar nicht, bis es jemand sagt.
Ich habe 3 erwachsene Kinder und doch wunderte ich mich letztens, dass man mit 12 Jahren, ja noch gar nicht so schnell/schön schreiben kann.
Wie @EL-Xatrix schreibt, auf so eine einfach Formulierung wäre ich nie gekommen. 😋

@Bright0001 wenn man Emojis lese kann, recht gute Darstellung, rechts und links noch Pfeile für die "Fahrtrichtung".

@B226 jetzt aber 🤯

 

[EL-Xatrix]

ja mit dem wissen ist das sone sache, wenn wann dann zu tief drin steckt in einem bereich oder zu lange nur mit leuten kommuniziert die ähnliche menge an wissen in dem bereich haben kann man schon mal übersehn das so manche begrifflichkeiten nicht jedem geläufig sind...
ist wie bei programmierern, ärzten und handwerkern auch da hat jeder so seine ausdrücke und fachbegriffe die er jeden tag nutzt mit denen andere nix anfangen können.
auf der anderen seite wenn man da jetzt seitenlang alles mögliche erklärt geht der eigentliche punkt der news dann auch eventuell unter.
und der ganze bereich der chipfertigung und alles was da drumrum noch dazugehört ist schon nen sehr komplexes gebiet.