Ausrüstungsprobleme in Fabs: China-Foundry SMIC muss Produktionsstarts verschieben

Dem fortschrittlichsten chinesischen Auftragsfertiger, der Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), fehlt es an Ausrüstung für seine neuen Fabriken, Termine werden damit gerissen. Es ist bereits das zweite Mal, dass SMIC Probleme vermeldet; die US-Handelsrestriktionen werden hier ins Spiel gebracht.

Kaum alternative Anbieter zum Westen

Die Technologien zur Ausrüstung moderne Halbleiterfabriken stehen in China nicht zur Verfügung. Einfuhrverbote seitens der USA betreffen unter anderem ASML als weltgrößten Fabrikausrüster, aber auch Applied Materials und Lam Research. Die modernsten Lithografiesysteme und Tools können damit nicht erworben werden, also müssen ältere Systeme oder lokale Alternativen genommen werden, die bisher nicht betroffen sind. Doch damit lässt sich am High-End-Rennen nicht teilnehmen.

Bereits seit Herbst 2020 steht SMIC offiziell auf der Bannliste der USA, zuletzt wurden die Gurte noch straffer gezogen. Selbst an lokale Maschinen zu kommen, gestaltet sich immer schwieriger. Für die Produktion von 28-nm-Chips, die in vielen Werken erst einmal als Grundstein geplant ist, sind die Systeme aber ebenfalls knapp. Die eigene Technologie aus China ist noch lange nicht so weit, um die Lücke zu füllen. Als führend gilt Shanghai Micro Electronics Equipment (SMEE), die Lithografiesysteme für 90 nm und größer bauen, passende Zulieferer sind Kingsemi, AMEC oder auch Naura nebst einigen weiteren wie ACM Research in Anlehnung an LAM Research.

Bisher konnten die Hersteller in China darauf setzen, dass unter anderem ASML weiterhin liefert. Das Unternehmen war zuletzt stark unter Druck geraten, doch von der Lieferung von herkömmlichen Belichtungssystemen (DUV) abzusehen. Auf EUV-Systeme gilt seit Jahren ein Exportverbot. Andere Zulieferer wie Lam Research sind zuletzt weniger optimistisch gewesen. Im Oktober 2022 kurz nach Inkrafttreten der neuen US-Sanktionen warnte der Hersteller, die Einschränkungen im China-Geschäft seien überaus deutlich und würden den Konzern bis zu 2,5 Milliarden US-Dollar kosten.

Es fehlt an „bottleneck equipment“

Vermutlich sind es letztlich genau solche Systeme, die die eine Seite gerne verkaufen würden und die SMIC nun fehlen. Der Hersteller spricht explizit von „bottleneck equipment“, also ganz wichtigen Anlagen, die als Flaschenhals in der Produktionskette fungieren, ohne die letztlich nichts geht. Vorsichtig formuliert man nun eine Verschiebung von Produktionsstarts um ein oder zwei Quartale, in der Hoffnung, dass sich die Probleme bis dahin auflösen lassen. Doch behoben sind die längerfristigen Probleme damit mitnichten, denn es dürfte in Zukunft kaum leichter werden, weitere Standorte auszurüsten.