ASML: EUV-Maschinen belichten bald 155 Wafer pro Stunde

Volker Rißka 60 Kommentare
ASML: EUV-Maschinen belichten bald 155 Wafer pro Stunde
Bild: ASML

ASML erklärt am Rande der neuen Quartalszahlen, dass ihre EUV-Belichtungssysteme stetig zuverlässiger im Serieneinsatz mit 125 Wph sind. Im kommenden Jahr werden die Scanner auf bis zu 155 Wafer pro Stunde aufgewertet – dann startet bei vielen Partnern die großflächige Serienproduktion.

Fünf EUV-Belichtungsmaschinen hat AMSL im dritten Quartal 2018 ausgeliefert, exakt so viele Neubestellungen für die modernen Scanner konnte das Unternehmen auch verbuchen. Sechs Systeme will ASML in diesem Jahr noch liefern (eine davon an eine beteiligte Forschungseinrichtung), sodass am Ende 18 EUV-Maschinen im Jahr 2018 an die Partner überstellt wurden. Im kommenden Jahr will ASML diese Zahl auf 30 Einheiten erhöhen.

Dazu beitragen soll unter anderem das Update des aktuellen NXE:3400B auf die Stufe NXE:3400C. Der fortschrittlichste EUV-Scanner von ASML wird eine Produktivität von mehr als 155 Wafer pro Stunde anstreben, für die aktuelle Generation werden mindestens 125 Wph (wafer per hour) angesetzt. Diese Systeme kommen in Kürze erstmals zum Serieneinsatz, TSMC, als einer der Großkunden von ASML, feierte kürzlich den Tape-out eines 7-nm-Chips, bei dem auch die EUV-Lithografie zum Einsatz kam. Bereits im Frühjahr 2019 will TSMC die ersten 5-nm-Chips angehen, die Serienfertigung wird für das Jahr darauf geplant. Exakt dann wären die neuen NXE:3400C fertig, diese sollen ab dem zweiten Halbjahr 2019 zur Verfügung stehen. In der Regel lassen sich die ASML-Scanner dabei auf die neue Version aufrüsten.

EUV sorgt auch für Umsatzschub

ASML hat dank EUV einen weiteren Umsatz- und auch Gewinnschub verbuchen können. Fast 2,8 Milliarden Euro Umsatz und 680 Millionen Euro Gewinn entsprechen einem Zuwachs von 13 respektive 22 Prozent. Auch im letzten Quartal erwartet ASML gute Umsätze und Gewinne, in den erwarteten 3 Milliarden Euro Umsatz sollen rund 500 Millionen auf EUV-Systeme zurückzuführen sein. Rund 100 Millionen Euro kostet eine der Maschinen, der Ausblick auf 2019 mit einer angestrebten Auslieferung von 30 dieser Systeme ist entsprechend rosig.