EUV-Fertigung: Samsungs 5-nm-Prozess ist fertig und 6 nm im Tape-out

Volker Rißka 34 Kommentare
EUV-Fertigung: Samsungs 5-nm-Prozess ist fertig und 6 nm im Tape-out
Bild: Samsung

Samsung meldet weitere Fortschritte bei der Integration von EUV in die Fertigung. 7 nm EUV ist in der Massenproduktion, 6 nm feiert das erste Tape-out durch Kunden. Und 5 nm als nächster Meilenstein ist fertig und steht nun Partnern für erste Designs zur Verfügung.

Die Vorteile von 5 nm gegenüber 7 nm erklärt Samsung mit einer um rund 25 Prozent gesteigerten Effizienz bei der Flächennutzung, was bei einem Shrink in der Fertigung der Normalfall ist. Hinzu kommt eine 20 Prozent geringere Leistungsaufnahme oder wahlweise bei gleicher Leistungsaufnahme eine zehn Prozent gesteigerte Performance. Unterm Strich betrachtet ist der Schritt in der Fertigung damit ein ganz klassischer, wie er auch in vielen Generationen zuvor gesehen war.

Die Besonderheit liegt jedoch in der Fertigung selbst. Denn die Belichtungsmaschinen mit ultraviolettem Licht (EUV) werden bei 5 nm das wichtigste Tool. Fortan kommen weniger Schritte in der Belichtung zu einem theoretisch schnelleren Endergebnis, da die Technik aber immer noch am Anfang steht, werden die Boni erst im Laufe der Zeit klarer sichtbar. Da die Technik jetzt bereits bei 7 nm und auch 6 nm in Teilbereichen eingesetzt wird, kann sie komplett weiter verwendet werden. Dies macht es zudem für Kunden einfacher, da auch die Design-Richtlinien mit übernommen werden, was wiederum hilft, die gesamte Entwicklungszeit von Produkten zu verkürzen.

Samsung geht „All-in“ bei EUV

Samsung betont erneut, große Stücke auf EUV zu setzen. Die Massenproduktion soll jetzt zügig hochgefahren werden, die S3-line in Hwaseong, Südkorea, wird, wie bereits erwartet, im zweiten Halbjahr mit einer zusätzliche EUV-Produktionslinie ausgerüstet sein, die zum kommenden Jahr die Serienproduktion aufnimmt. Bis zu sechs Milliarden US-Dollar sollen dort bis 2020 investiert werden, weitere Gelder aber je nach Bedarf auch danach fließen.

Die Custom-Lösung, wie Samsung den 6-nm-Chip beim Tape-out durch einen ersten Kunden nennt, könnte dann unter anderem von diesen Maschinen kommen. 6 nm war nach der Ankündigung 2017 zwischenzeitlich wieder verschwunden, seinerzeit hieß es aber bereits, dass 6 nm Optimierungen bei Leistung und Leistungsaufnahme gegenüber dem 7-nm-Prozess bietet. Er ist damit vergleichbar mit der aktuellen 8-nm-Produktreihe, die im Galaxy S10 genutzt wird, die wiederum nur ein optimiertes 10-nm-Produkt ist.