EUV-Lithografie: TSMC bestellt noch einmal bis zu 16 EUV-Systeme

Volker Rißka
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EUV-Lithografie: TSMC bestellt noch einmal bis zu 16 EUV-Systeme
Bild: TSMC

TSMC betreibt bereits weltweit die meisten EUV-Systeme, legt nun laut Brancheninsidern mit einer großen Bestellung aber noch nach. Der Großteil der rund 16 bestellten Systeme bei ASML soll schon 2021 geliefert werden und sowohl für den Ausbau der 5-nm-Fertigung, als auch der Vorbereitung für die 3-nm-Produktion genutzt werden.

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Zuletzt war bekannt geworden, dass Samsung seine Bestellungen bei ASML aufgestockt hat und binnen kurzer Zeit mindestens neun neue EUV-Systeme erwartet, um die eigene 5-nm-Produktion zu stärken und den Weg für 3 nm zu ebnen.